机械精度设计与检测基础：11第5章 表面粗糙度设计与检测.pptVIP

光源1 平面镜5 向上 分光 镜9 向上 被测表面18 返回 向左 参考镜13 返回 图 5.14 两束光线会合后形成一组干涉条纹。 干涉条纹的弯曲程度反映了被测表面不平度的状况，如图5.14（b）所示。 图5.14（b） 5. 激光反射法 激光反射法的基本原理是激光束以一定的角度照射到被测表面，除了一部分光被吸收外，大部分被反射和散射。反射光和散射光的强度及其分布与被照射表面的粗糙度状况有关。 通常， 反射光较为集中形成明亮的光斑，散射光则分布在光斑周围形成较弱的光带。较为光洁的表面，光斑较强、光带较弱且宽度较小。较为粗糙的表面，则光斑较弱，光带较强且宽度较大。 6. 激光全息法 激光全息法的基本原理是以激光照射被测表面，利用相干辐射，拍摄被测表面的全息照片，即一组表面轮廓的干涉图形，然后用硅光电池测量黑白条纹的强度分布，测出黑白条纹的反差比，从而评定被测表面粗糙度轮廓的粗糙程度。当激光波长λ=632.8nm时，其测量范围为0.05至0.8μm。 7. 印模法 印模法是用塑性材料将被测表面复制下来，然后再对印模模进行测量。 常用的印模材料有川蜡、石蜡、赛璐璐和低熔点合金等。由于印模材料不可能完全填满被测表面的谷底 ，取下印模时又会使波峰被破坏，因此测出的幅度参数值通常