无尘车间洁净度标准(同名5324).pdfVIP

无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化车间的规格一般适用于美国联邦规格 No.209B 。这个规格对净化 间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是， 伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是 以洁净度进行分类。最新版已成为No209E ，名称也进行了变更。No.209E 的 x 3 级别表示是把 0.5um 以上的颗粒数为 10 个/m ，把 X 表示成级别，同时加上 米制 M 的意思，表示成 M3.5 等等。在表 7 里表示的是美国联邦规格 No.209B ，表 8 表示的是美国联邦规格 No.209E 。在日本，相应的规格是 JIS X B9920。JIS9920 的级别表示是把 0.1um 以上的 颗粒数规定为 10 个，用 Y 表示级别。表 9、图2 表示了 JIS B 9920 的级别的主要内容。 表 7 美国联邦规格 No.209B 净 粒子 室 温度 湿度 气 照 化 内 流 度 粒 累 范 推 差 高 最 误 间 径 计 压 围 荐值 （ （低 差 换 级 力 气 次 u粒 （ （℃） ℃） %） % % 别 m 子 Pa ℃） 数 数 m mH O 2 1 ≧ 1 + 1 2 4 3 层 1 00 0.5 00 13 9.4 2.2 ± 5 0 ± 流 方 080 （ — 2.8 10 1 ≧ 1 式 --16 +1.3） 2 特 特 000 0.5 000 0 20 以 5 别 别 ≧ 1 .45m/ 1 上 时 时 5 0 s 000