第3章电容式传感器..docx

第 3 章 电容式传感器 3.1 电容式传感器的工作原理 基本工作原理 平行板电容器 δ εεδ ε S S C r 0= = 0ε--真空的介电常数 ; ((cm PF cm F /6. 31/10 94111 0π πε= ?? = ; ε--电容极板间介质的介电常数 ; --ε介质的相对介电常数 ,对于空气 , 1=r ε 单位 :1 法拉 (F =106 微法 ( μF =1012皮法 (PF 或微微法 ( μμF 变面积型电容式传感器 δ εδ ab S C ==0 (x b C b x a S C ?? - =?-= = δ εδεδ ε0 x b C C C ?? = -=?δ ε0 灵敏度:↓ ↑= ??↑= δε b x K (与 a 的大小无关 问题 :极板间距 δ能否很小 ?不能 3. 变介质介电常数型电容式传感器 (1 电容式 液面计 (液位传感器 h 1— 待测液面高度 ?? ???= r R h C ln 2111 ??επ ?? -= ?? ?? = r R h h r R h C ln (2ln 22 1222επεπ ( (ln 2ln 2ln (2ln 2111 2122 11121h f Kh A h r R r R h r R h h r R h C C C =+=? ?? ?? -+ ?? ?? = ?? ?? -+ ?? ?? = +=εεπεπεπεπ 结论 :传感器的电容量 C 与液位高度 h 成正比。 (2 测湿 (测厚传感器 d S C -= δε 11 d S C 22 ε= 2 1 21212 121εεδεδεεεd S d S d d S d S CCCCC+ -= + -? -= += 结论 :①若 d 不变 , (2 εg C为=,介电常数 ε的测试传感器 ,如湿度传 感器 (粮食、纺织品 ,木材等 ; ②若 2ε不变 , (d h C =,可用来测量纸张、绝缘薄膜等厚度的测 厚传感器。 变极板间距型电容式传感器初始电容 : δ εS C = 假若动极板上移 δ? δ δ δδ δ εδ δε?- =?- = -= 11110 CSSC 若 1<<?δ δ ,上式可按级数展开 ? ? ? ????????+??? ?+??? ?? ?+?+=3 201δδδδδδ C C 电容增量为 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? +??? ?? ?+??? ?? ?+?= -=?3 200 δδδδδδ C C C C 电容量的相对变化 ? ? ? ???????+??? ?? ?+?+?=?2 1δδδδδδ C C 同理 :若动极板下移 δ? δ δ δδ δ εδ δε ?+ =?+ = ?+= 11110 CSSC ? ? ???????-??? ?? ?+? -?=?2 1δδδδδδ C C 略去高次项 δ δ ?≈?0 C (近似线性关系灵敏度为 ↓ = ??↑= 2 δ εδ S C K 非线性误差为 %100%1002 00 ?= ???? ?? ?≈ ?? ????? ?? ?-???? ?? ?=δ δ δ δ δδ理想 理想 实际 C C C C C C r 结论 : ①欲提高灵敏度 ,应减少起始间隙 δ,但受电容器击穿电压的限制 ; ②为了保证一定的线性度 , 即减小非线性误差 , 应限制动极板的相对位量。 ③为了改善非线性 ,应采用差动式结构。 5.差动式电容传感器 假若动极板上移 : ? ? ? ????????+??? ?+??? ?? ?+?+=3 2011δδδδδδ C C ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? +??? ?? ?-??? ?? ?+?-=3 202 1δδδδδδ C C ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? +??? ?? ?+ ??? ?? ?+?= -=?5 302 1222δδδδδδ C C C C ? ? ? ???????+??? ?? ?+??? ?? ?+?=?4 20 12δδδδδδ忽略C高C次项 ,则 δ δ ?≈?2 0C C 灵敏度为 2 2δ εδ S C K = ??= 非线性误差为 %100%100222 3 00 ??? ? ?? ?=? ???? ?? ?≈ ?? ????? ?? ?-???? ?? ?= δδδ δ δδ理想 理想 实际 C C C C C C r 结论 :差动式电容传感器比单一电容传感器灵敏度提高一倍 , 而且非线性 误差大大降低。 3.2 电容式传感器的等效电路 等效电路 Rp — 并联损耗电阻 包括了电极间直流漏电阻和气隙中介质损耗 ; Rs — 串联损耗电阻 包括引线电阻、金属接线柱电阻和电容极板电阻