氦质谱检漏仪校准规程.pdfVIP

氦质谱检漏仪校准规程 1 目的 氦质谱检漏仪按国家有关标准制造，考虑到工厂的实际条件及可行性，以及 仪器的各项检测性能完好，符合产品检测要求，特制定本规范。 2 范围 本规程适用于本公司使用中和修理后的氦质谱检漏仪的校准。 3 引用标准 生产商提供的技术文件。 4. 校准条件 校准氦质谱检漏仪的标准漏孔， 应是由有关专业机构校准过的并有校准证明 -9 3 的渗氦型标准漏孔，漏率范围在 10 Pa ·m /s 数量级。 5. 校准程序 5.1 外观 仪器整机应完整， 表面应清洁， 不应有影响正常工作的破损现象， 仪器内机 械泵油位在正常工作范围内，肉眼观察油质无明显变化。 5.2 通电后性能 面板开关，按钮性能接触良好， 内部无短路。机械泵和涡流分子泵运转正常， 无异常响声。 仪器通电启动后， 各项真空指示正常， 能在规定时间内达到仪器正 常工作所需的真空度。 5.3 最小可检灵敏度 开机后仪器各项指示， 性能正常，仪器内质谱室真空度达到能开启质谱灯丝 -10 3 的水平，打开仪器内校准漏孔， 仪器的最小可检灵敏度应优于 1×10 Pa ·m /s。 5.4 响应时间 打开校准漏孔后， 到仪器指示值到达仪器指示最大值的 63%所需时间， 即为 响应时间，响应时间应≤ 3s。 5.5 清除时间 关闭校准漏孔后， 到仪器指示值达到仪器最大指示值的 37%所需时间， 即为 清除时间，清除时间应≤ 3s。 6 校准结果处理 如校准合格，则贴上准用标签；如保养不合格，修复后进行校准；则贴上停 用标签。合格贴合格证，不合格提出申请报废意见。 7 校准周期 校准周期为一年。 网址：