00070-晶振片sensor 說明書.pdfVIP

INFICON-TYPESENSOR HEAD 石英振盪器說明及簡易故障排除步驟 1. 在待機狀態下 ，按下膜厚計上的“LIFE”顯示按鈕 ，螢幕會出現石英片（Crystal ） 的壽命值(以百分比顯示)以及石英振盪頻率（由6.000MHz 遞減 ），一般而言 ， 當石英片壽命約為96 ﹪以下時 ，偵測的蒸鍍速率及膜厚會漸趨不穩定 ，請依 照實際需求做更換 。 2. 當膜厚計出現“XTALFail” （振盪失效 ）的閃爍字幕時 ，表示石英振盪片無法 產生振盪信號 ，sensor無法感測到蒸鍍源產生之膜厚及蒸鍍速率 。 3. 請先行拆下 Crystal Holder ，更換新的石英片（Crystal ），同時並檢查 Crystal retainer 上金屬彈片是否變形或斷裂 ，以及 Crystal retainer 上面電極片表面 是否污染或氧化 （若有污染或氧化請用清潔紙或布擦拭 ）；更換後若仍出現 “XTALFail”則檢查是否為sensor本身連接問題 。 4. 找到振盪器(Oscillator)中間的測試孔 （Test ），使用大小適中的螺絲起子壓住 測試孔內開關（參照附圖 1.1），此時觀察膜厚計的石英壽命會顯示50.0 ﹪數 值 ？（不同型式膜厚計顯示狀態如附圖 1.2--附圖 1.5 ） 5. 假如螢幕是顯示 50.0% ，則表示振盪器本身以及與膜厚計之間的連接線為正 常狀態 ；若數值無顯示 ，則可能是振盪器本身或者與膜厚計間連線出問題 。 6. 旋開導入端子大氣側信號線接頭 （參照附圖2.1），用三用電錶Ω檔測量導入 端子信號接頭的【a】中心點（附圖2.2 ）至感測頭內部金屬彈片是（附圖2.3 ） 否導通阻值約為 1.0Ω以下 （附圖2.4 ），但須小心勿弄斷感測頭內部金屬彈 片【b】中心點與外殼（附圖2.5 ）是否絕緣(以 MΩ檔測量應為2-3MΩ以上) 。 第 1 頁 INFICON-TYPESENSOR HEAD （注意 ：感測頭內部金屬彈片無法更換新品 ，若因變形再恢復原狀時請小心 處理 ，避免折斷 。（（參照附圖2.6 ）） 測 量 結 果可 能 原 因處 理 方 式 導入端子信號接頭中1. 感測頭內部金屬彈片變形或 1. 若變形則小心調整金 心點 （大氣側 ）對感 斷裂與 Crystal Retainer 接觸 屬彈片 ；若斷裂請與 測頭內部金屬彈片導 不良 本公司客服人員聯絡 通 ，且對感測頭外殼2. Crystal Retainer 金屬彈片變2. 若變形則小心調整金 絕緣正常 ，仍無法振 形或斷裂 ，導致與石英片接觸 屬彈片 ；若斷裂請更 盪 不良 換 整 個 Crystal 3. 感測頭內部水氣凝結 （結露 ） Retainer 3. 確認水溫是否過低 ， 4. Crystal Retainer 或金屬彈片 並清潔擦拭感測頭 污染 、氧化 4. 清除各接觸元件表面 氧化物 導入端子信號接頭中1. 真空內部導線與感測頭信號 1. 重新旋緊 心點 （大氣側 ）對感 接頭接觸不良 （附圖2.7 ） 2. 重新旋緊 測頭內部金屬彈片不2. 真 空 內 部 導 線 （Vacuum 導通 （阻值過大 ） cable ）與導入端子信號接頭