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1 1 MEMS陀螺仪传感器产业探究 目录： TOC \o 1-5 \h \z \o Current Document 一、 MEMS陀螺仪市场现状 2 第一节、MEMS主要厂家产品资料汇总 2 第二节、MEMS在我国的产业现状 2 \o Current Document 二、 MEMS陀螺仪介绍 3 第一节、什么是微机械(MEMS) ? 3 第二节、微机械陀螺仪(MEMS gyroscope)的工作原理 3 第三节、微机械陀螺仪的结构 4 \o Current Document 三、 MEMS技术的加工工艺 6 第一节、体加工工艺 6 第二节、硅表面微机械加工技术 7 第三节、结合技术 7 第四节、逐次加工 8 第五节、LIGA工艺 8 第六节、THEMLA工艺流程 9 \o Current Document 四、 基于DSP的MEMS陀螺仪信号处理平台设计 9 第一节、MEMS陀螺仪信号处理平台的硬件结构 9 第二节、MEMS陀螺仪信号处理平台系统任务分析 10 第三节、MEMS信号处理平台软件设计方案 11 \o Current Document 五、 基于GPS的汽车导航系统的设计与实现 12 第一节、主体控制方案 12 第二节、GPS定位系统设计 13 第三节、车体部分MCU主控模块设计 14 第四节、系统软件设计 14 一、MEMS陀螺仪市场现状