半导体单晶炉硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉.pdf

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2021-01-22 发布于重庆
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半导体单晶炉硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉.pdf

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第二节硅片制备中的热工设备 --单晶炉和多晶硅铸锭炉一、单晶炉 • 目前在所有安装的太阳电池中，超过90% 以上的是晶体硅太阳电池，因此位于产业链前端的硅锭/片的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用。 •太阳电池硅锭主要有单晶硅锭和多晶硅锭，这两种硅锭。 •单晶硅做成的电池效率高，但硅锭生产效率低，能耗大； •多晶硅电池效率比单晶硅低一些，但硅锭生产效率高，在规模化生产上较有优势。 • 目前国际上以多晶硅硅锭生产为主，而国内由于人工成本低，国产单晶炉价格低，因此国内单晶硅硅锭的产能比多晶硅大得多。 1