ESD引起集成电路损坏原理模式及实例.docx

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2021-01-26 发布于天津
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引起集成电路损坏原理模式及实例一引起集成电路损伤的三种途径人体活动引起的摩擦起电是重要的静电来源带静电的操作者与器件接触并通过器件放电器件与用绝缘材料制作的包装袋传递盒和传送带等摩擦使器件本身带静电它与人体或地接触时发生的静电放电当器件处在很强的静电场中时因静电感应在器件内部的芯片上将感应出很高的电位差从而引起芯片内部薄氧化层的击穿或者某一管脚与地相碰也会发生静电放电根据上述三种的损伤途径建立了三种损伤模型人体带电模型器件带电模型和场感应模型其中人体模型是主要的二损伤的失效模式双极型数字电路输入

ESD引起集成电路损坏原理模式及实例一.ESD 引起集成电路损伤的三种途径 (1) 人体活动引起的摩擦起电是重要的静电来源，带静电的操作者与器件接触并通过器件放电。 (2) 器件与用绝缘材料制作的包装袋、传递盒和传送带等摩擦，使器件本身带静电，它与人体或地接触时发生的静电放电。 (3) 当器件处在很强的静电场中时，因静电感应在器件内部的芯片上将感应出很高的电位差，从而引起芯片内部薄氧化层的击穿。或者某一管脚与地相碰也会发生静电放电。根据上述三种 ESD 的损伤途径，建立了三种 ESD 损伤模型：人体带电模型、器件带电模型和场感应模型。其中人体模型是主要的。二.E