ITOIndiumTinOxides作为纳米铟锡金属氧化物.docVIP

ITO （Indium Tin Oxides ）作为纳米铟锡金属氧化物 为了提高 LED 芯片的出光效率，人们想了许多办法。比如，当前市场上出现了许多亮度较 高的 ITO 芯片的 LED ， GaN 基白光 LED 中如果用 ITO 替代 Ni/Au 作为 P 型电极芯片的亮 度要比采用通用电极的芯片高 20％－ 30％。 ITO 是英文 IndiumTinOxides 的缩写， 意思是 「氧化銦锡」 。与其他透明的半导体导电薄膜相比，ITO 具有良好的化学稳定性和热稳定性。 对衬底具有良好的附着性和图形加工特性。 ITO 为一种 N 型氧化物半导体，作为纳米銦锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑胶及电子 显示幕上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。 ITO 透明导电膜是平面显示器上重要之组件，其特性会与镀膜工艺中的参数及材料有密切的关係。 在众多可作为透明电极的材料中， ITO(IndiumTinOxide) 是被最广泛应用的一种， ITO 薄 膜即銦锡氧化物半导体透明导电膜 ,通常有两个性能指标 :电阻率和透光率。主要是由于 ITO 可同时具有低电阻率及高光穿透率的特性， 符合了导电性及透光性良好的要求。 在氧化物导电膜中， 以掺 Sn 的 In2O3(ITO) 膜的