薄膜体声波谐振器FBAR.doc

浙江大学研究生读书报告记录表 培养 学院 信电系 学号硕士生 类型 研究生 导师 赵士恒 董树荣 姓名 姓名 读书报告 2008-5-13 读书报告 学科 时间 状态 读书报告 薄膜体声波谐振器（ FBAR ）技术的若干问题研究 题目 读书报告摘要（限 500 字以内）： 本博士论文较全面地介绍了 FBAR 相关知识，并在 FBAR 建模， AlN 薄膜的制备和测量等方面有所创新。 首先从 FBAR 的平面波传输特性与电学性能进行分析，推导出了 FBAR 的普适解析等效模型 Mason 模型， 以及 FBAR 在谐振点附近的近似等效电路模型 BVD 模型和 MBVD 模型，并应用 ADS 仿真软件分析了压 电材料、电极材料、电极面积及厚度、支撑层等对 FBAR 性能的影响。论文第二部分主要介绍了用直流磁 控反映溅射法制备 AlN ，对反应溅射进行了理论建模分析， 并详细分析了工艺参数对迟滞曲线的影响。 AlN 薄膜的 c 轴择优取向受到工作气压、靶基距、溅射功率、基片温度、基片种类、氩氮比等因素的影响，文 中也进行了阐述。本文进一步提出了一种基于谐振腔微扰理论的介质薄膜微波复介电常数的测量装置和方 法，并说明保持测试环境的恒温恒湿、利用谐振腔的传输特性曲线、改善膜层均匀性、采用高 Q 的谐振腔 均可以减小测量误差。 FBAR 的典型应用是作为谐振器和滤波器，文中分析了FBAR 的阶梯型、网格型、 叠层型和耦合型滤波器基本结构，介绍了单个 FBAR 频率微调的方法，并在此基础上对 WCDMA 零中频 Rx 非平衡和平衡接收滤波器进行了分析设计。 研究生科 导师签名 意见 浙江大学研究生培养处制表