PZT铁电薄膜实验报告要点.docxVIP

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2021-02-02 发布于山东
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PZT铁电薄膜实验报告要点.docx

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材料科学与工程学院基地班创新和任选实验论文高度取向锆钛酸铅铁电薄膜材料制备及性能优化姓名：严岑琪学号： 200900150260 指导教师：欧阳俊日期： 2013.1.5 1 目录一、研究背景简介及研究意义 ....................................................................................................... 3 1.1 PZT 薄膜研究背景 ............................................................................................................. 3 1.2 PZT 铁电材料结构 ............................................................................................................. 3 1.3 PZT 薄膜发展现状及趋势 ................................................................................................. 4 1.4 PZT 薄膜研究意义 ............................................................................................................. 4 二、研究方法 ................................................................................................................................... 5 2.1 脉冲激光沉积法 ................................................................................................................ 5 2.2 真空蒸发法 ........................................................................................................................ 5 2.3 溶胶—凝胶法 ..................................................................................................................... 5 2.4 化学气相沉积法 ................................................................................................................ 6 2.5 磁控溅射法 ........................................................................................................................ 6 三、试验用原材料及仪器设备 ....................................................................................................... 7 3.1 试验用原材料 .................................................................................................................... 7 3.2 试验用仪器设备 ................................................................................................................ 7 四、实验步骤 .......................................................................................