教学课件 机电一体化系统设计.ppt

5.2.1 数字式传感器 2.光栅 （1）光栅简介 按工作原理可将光栅分为物理光栅和计量光栅两种，前者的刻度比后者密。 物理光栅主要利用光的衍射现象，通常用于光谱分析和光波测定等方面； 计量光栅主要是利用光栅的莫尔条纹现象，广泛用于位移的精密测量与控制中。计量光栅有长光栅和圆光栅两种，是数控机床和数显系统常用的检测元件，如图5-31所示为长光栅。长光栅一般用于测量直线位移量，如机床的X、Y、Z、U、V、W等直线轴的位移；圆光栅则用于旋转位移量的测量，如机床A、B、C等回转轴的角位移。 5.2.1 数字式传感器 2.光栅 （1）光栅简介 从光信号的获取原理来看，光栅可分为玻璃透射光栅和金属反射光栅。 玻璃透射光栅是在透明玻璃片上刻制或腐蚀出一系列平行等间隔的密集线纹（圆光栅是同心线纹），利用光的透射现象形成光栅。 金属反射光栅一般在不透明的金属材料上刻线纹，利用光的全反射或漫反射形成光栅。 透射光栅的特点是：光源可以垂直入射，因此信号幅度大，读数头结构比较简单；刻线密度大，分辨率高。金属反射光栅的特点是：标尺光栅的线膨胀系数很容易与机床材料一致；易于接长或制成整根的长光栅；不易碰碎；分辨率比玻璃透射光栅低。 5.2.1 数字式传感器 2.光栅 （2）玻璃透射直线光栅工作原理 透射光栅测量系统原理如图5-32所示，它由光源、透镜、标尺光栅、指示光栅、光敏元件和信号处理电路