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微纳光学加工及应用 孙奇 微纳光学结构 光是一种电磁波，是由同相相互垂直的电场与磁场在空间中以波的形式移动 而形成的，其传播方向垂直于电场与磁场所构成的平面，电磁波能有效的传递能 量和动量 [1] 。从低频到高频， 电磁波可以分为： 无线电波、 微波、红外线、可见光、 紫外光、 X射线和 γ 射线等，人眼可见波长在 380nm至 780nm之间，如图 1 所示 (b)(a) (b ) (a ) 图 1. (a) 电磁波传播方式 (b) 电磁波按频率分段图(图片来自网络) 传统光学只研究可见光与物质的相互作用，而现代光学已扩展到对全波段电 磁波的研究。 随着微加工技术的日臻成熟， 电磁波在微纳