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. FSI 清洗机培训教材 目 录 一、 FSI 清洗机介绍： 二、 FSI 组成及结构功能： 三、 软件操作介绍： 四、 程序以及输出功能： 五、 流量控制： 六、 Chemical Auto fill 功能介绍： 七、 常见故障以及维修方法： 一、 FSI 清洗机介绍 word 范文 . FSI 用途： FSI 用于圆片的表面清洗系统，可以去除颗粒、金属离 子以及剥离部分氧化膜； FSI 设备全称： MERCURY MP Surface Condition Division System ， FSI 公司早期的 Spray System Product ； FSI 工作原理： 在密封的 Chamber 中, 圆片对称放在