碱性蚀刻子液配方及故障解决+蚀刻液再生回用铜回收设备药水参数要求.docxVIP

PAGE PAGE # 、碱性蚀刻子液的调配 以配制 2000L 蚀刻子液为例） 1、在调配罐中加入 640 升自来水。 2、加入 560 KG 蚀板盐并开启搅拌。 3、待蚀板盐大部分溶解时加入 800 升 25%氨水继续搅拌。 4、直到蚀板盐完全溶解，再加入 6 公斤碱性蚀刻添加剂。 5、搅拌均匀，化验合格即可使用。 （注：配完后一定要化验氯离子和 PH，达到贵司所要求参数后才打到楼顶 使用。） 、碱性蚀刻线工作缸蚀刻液药水参数 1、 CL- ：170 g/L ～ 210 g/L 2、 Cu2+ ： 120 g/L ～ 140 g/L 3、 pH ：8.2 ～ 8.8 ( 热溶液时的 pH ） 4、 比重： 1.18 ～ 1.25 g/cm3 5、 温度： 48 ～ 52℃ 6、 3 压力 1.5～3.5 kg/m3 三、碱性蚀刻线常见故障解决 1、含铜量的多寡对线路侧蚀影响是很小的，但 PH、温度过高和时间过 长，侧蚀会明增加。 2、 蚀刻均匀性：蚀刻液蚀刻掉铜的均匀分布能力 3、 蚀刻因子：线侧蚀度和线厚比值。蚀刻因子愈高则代表侧蚀愈低， 若蚀刻因子降低则可能受以下因数影响。 （A）药液问题： ①PH8.6 时，蚀刻因子降低，尤其当 NH3?H2O 含量升高时。 ②氯离子过高，蚀刻因子降低。 温度愈高则侧蚀愈低， 温度愈低则侧蚀愈高， 但蚀刻速度会降低。 亚铜离子（一价铜）过多，蚀刻因子降低。亚铜离子过多的原因 可能因 O2 不足，此时应增加抽风系统的通气量。 铜离子太低，蚀刻因子降低。 （B）机械问题： 上下喷压不均，造成其中一面过蚀。此时因调整上下压力，使 板子出来后蚀刻程度一致。 喷嘴或滤网阻塞，造成压力不稳定，蚀刻时间难以控制。 喷嘴摇动角度过大，细线路的走向应尽量与摆动方向平行。 蚀刻时间过久， 造成过蚀现象。 一般认为铜厚的不均而导致所需 的蚀刻时间不同。若将蚀刻控制到 100% 均一次蚀刻干净，将会造成部分 板子有过蚀现象。 4、问题与对策： （一）速度降低 可能原因 对策 铜含量过高 添加药液 铜含量过低 增加含铜量或提高比重 压力过低 调整压力 低温 升高温度 氯离子过低 添加蚀板盐  PH 值太低 减小抽风量或添加氨水 O2不够 增加打气 二）蚀刻不均匀 可能原因 对策 喷嘴阻塞 检查喷嘴（管） 喷管管位或放向不对 调整位置与角度 液面太低 补充药液 加厚铜电镀不匀 追前工序改善 显影去膜未彻底 追前工序改善 三）沉淀 可能原因 对策 氯铜比值不对 调整氯铜比 PH 低或漏水、带水多 减低抽风、修理 比重过高 添加新鲜药液 四）侧蚀大蚀刻过度 可能原因 对策 PH高 升高铜含量或抽风 速度太慢 调整速度 压力过大 调整压力 CI-过高 加 NH3?H2O 比重太低 增加铜浓度 五）蚀铜不足 可能原因 对策 速度太快 降低速度 PH 太低 添加 NH3?H2O 不抽风 比重太高 添加新液 温度太低 升高温度 喷压不足 调整喷压 六）蚀刻机结晶过多 可能原因 对策 PH 值低于 8 以下 调整抽风和添加药水 四、蚀刻机的维护 检查喷嘴压力：喷嘴压力可通过每只喷管的压力表表现出来。每只喷管要求压 力均匀一致，通过它可以发现喷管或喷嘴是否存在漏夜、松脱、掉落、掉芯问 题，发现要及时处理。 清洗所有过滤网。 检查传送运行状况，摇摆运行状况。 检查蚀刻温度，严格控制参数范围。 检查蚀刻液的比重和抽风情况。 碱性蚀刻液再生回用铜回收设备药水参数要求 1、 碱性蚀刻线工作缸： CL- ：170 g/L ～ 190 g/L 2+ Cu2+ ：120 g/L ～ 140 g/L pH ： 8.2 ～ 8.8 （热溶液时的 pH） 2、萃取后： 2.1 CL- ： 165 g/L ～ 185 g/L 2.2 Cu2+ ： 70 g/L ～ 100 g/L 2.3 pH ： 8.8 ～ 9.2 （冷溶液时的 pH) 3、再生液： 3.1 CL- ： 185 g/L ～ 195 g/L 3.2 2+ Cu ： 60 g/L ～ 90 g/L 3.3 pH ： 9.2 ～ 9.6 （冷溶液时的 pH) 4、 1000L 碱性蚀刻废液萃取后调成再生液需要添加： 氯化铵（ NH4CL） ：16 Kg ； 工业级浓氨水（ NH3·H2O） ： 60 L ； 碱性再生液添加剂 ：3～5 L 。（起缓冲溶液和加速蚀刻反应作用） 5、碱性蚀刻化学反应 5.1 原理： CuCL2＋4 NH3 → Cu(NH3)4 CL2 Cu＋Cu(NH3)4 CL2→ 2 Cu(NH3)2 CL 再生反应： 4 Cu(NH3)2 CL＋4 NH4CL＋4NH3＋O2→ 4Cu(NH3)4 CL2＋2H2 O 总反应： Cu＋2 NH4CL＋2