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ITO 薄膜基础知识 一、 ITO薄膜的概念 ITO 薄膜是 Indium Tin Oxides 的缩写。作为纳米铟锡 金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体 有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃， 塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断 对人体有害的电子辐射及紫外、红外。 ITO 是一种 N 型氧化 物半导体 -氧化铟锡 ,ITO 薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电 膜,通常有两个性能指标 :电阻率和透光率 . 二、 ITO薄膜的应用 ITO薄膜具有优良的光电性能，对可见光的透过率达95% 以上,对红外光的反射率70%,对紫外线的吸收率》85%,对微 波的衰减率》85%,导电性和加工性能极好，硬度高且耐磨耐 蚀,因而在工业上应用广泛 ,在高技术领域中起着重要作用。 主要用途有 : （一）用于平面显示 ITO薄膜的透明导电性及其良好的电极加工性能 ，所以它 作为液晶显示器用的透明电极获得高速发展 ,约占功能膜的 50%以上,例如液晶显示（LCD）、LED、电致发光显示（ELD）、 电致彩电显示 （ECD） 等。随着液晶显示器件的大面积化、高 等级化和彩色化 ,LCD 将超过 CRT 成为显示器件中的主流产 品。因而 ITO 薄膜主要用于高清晰度的大型彩电、计算器、 计算机显示器、液晶和电子发光屏幕等。 J4IU401E>血電阻 J4IU 40 1E> 血電阻（￡2/ 應用產品领城 < 1000 車用液肘顯示器、褐控面扳'隔離電礙波玻璃 40 液晶手機、家奄用品臓晶面扳*太陽電池、攜帶式液晶 電玩*量測儀器用之顛示嚣、EL 15-40 液晶形邑電視、聲把型個人電腦、攜帶型個人電職 <50 電漿跖示盏、液馬顯示鴛（LCD】、形色濾翌用工屯極 （二）用于触摸屏 目前市场上，使用ITO材料的电阻式触摸屏和电容式触 摸屏应用最为广泛。 1、电阻式触摸屏 薄的ITO透明性好，但是阻抗高；厚的 ITO材料阻抗低， 但是透明性会变差。在 PET聚脂薄膜上沉积时，反应温度要 下降到150度以下，这会导致ITO氧化不完全，之后的应用中 ITO会暴露在空气或空气隔层里，它单位面积阻抗因为自氧 化而随时间变化。这使得电阻式触摸屏需要经常校正。电阻 式触摸屏的多层结构会导致很大的光损失，对于手持设备通 常需要加大背光源来弥补透光性不好的问题，但这样也会增 加电池的消耗。电阻式触摸屏的优点是它的屏和控制系统都 比较便宜，反应灵敏度也很好。 2、电容式触摸屏 电容式触摸屏也需要使用ITO材料，而且它的功耗低寿命 长，自从 Apple 推出 iPhone 后，友好人机界面、流畅操作性 能使电容式触摸屏受到了市场的追捧，各种电容式触摸屏产 品纷纷面世。而且随着工艺进步和批量化，它的成本不断下 降，正逐步取代电阻式触摸屏。 表面电容触摸屏的 ITO 涂层通常需要在屏幕的周边加上 线性化的金属电极， 来减小角落 /边缘效应对电场的影响。 有 时ITO涂层下面还会有一个ITO屏蔽层，用来阻隔噪音。表面 电容触摸屏至少需要校正一次才能使用。 感应电容式触摸屏与表面电容触摸屏相比，可以穿透较 厚的覆盖层，而且不需要校正。电容式触摸屏技术是利用人 体的电流感应进行工作的。电容式触摸屏是一块四层复合玻 璃屏，玻璃屏的内表面和夹层各涂有一层 ITO，最外层是一 薄层矽土玻璃保护层，夹层ITO涂层作为工作面，四个角上 引出四个电极，内层ITO为屏蔽层以保证良好的工作环境。 代表产品就是苹果iphone、iPod touch和iPad系列产品，拥 有其他产品难以超越的非凡触控体验。 （二） 用于交通工具风挡 ITO 薄膜能除雾防霜 ,是一种典型的透明表面发热体 ,可 以用作汽车、火车、电车、飞机等交通工具的风挡 ,用于陈列 窗、溜冰眼镜、双引自行战车及医疗喉镜。还可以用作烹调 用加热板的发热体 ,也可以用于炉门、 冷冻食品的显示器及低 压钠灯等。 （三） 用于太阳能方面 ITO薄膜用于异质结SIS太阳能电池顶部氧化物层，可 以得到高的能量转换效率，例如ITO/SiO 2/P-Si太阳能电池可 以产生13%?16%的转换效率。ITO玻璃还可以用于Si太阳 能电池的反射涂层以及用于异质结型 A-Si 基太阳能电池的透 明电极。具有电致变色 （EC） 的灵巧窗的典型结构是在普通白 玻璃上沉积多层膜，其内外层为ITO膜。研究表明,EC玻璃可 使建筑物内暖气、冷气和照明等能耗减少 50%以上。 （四）用于微波屏蔽和防护镜 ITO 薄膜有良好的微波屏蔽作用 ,能防静电 ,可用于屏蔽 电磁波的地方 ,如计算机房、雷达的屏蔽保护区 ,甚至可用于 防雷达隐形飞机上。茶色ITO薄膜是铟、锡氧化物的新品种 它能防紫外线和红外线 ,滤去对人体有害的紫外波段 ,因此镀