激光干涉仪功能及应用.docxVIP

SJ6000 激光干涉仪产品具有测量精度高、 测量速度快、 测量范围大、 分辨力高等优点。 通过与不同的光学组件结合，  可以实现对线性、 角度、平面度、 直线度（平行度） 、垂直度、 回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、  加速度、频率  - 振幅、 时间 - 位移等动态性 能分析。 在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。 静态测量 SJ6000 激光干涉仪的系统具有模块化结构，可根据具体测量需求选择不同组件。 SJ6000 基本线性测量配置： 图 1-基本线性配置 SJ6000 全套镜组： 图 2- SJ6000 全套镜组 镜组附件： 轻型线性附件 远距离线性附件 可调转向镜 直线度附件 图 3-SJ6000 镜组附件 镜组安装配件： 镜组安装件 测头夹具 垂直度安装三脚架 图 4-SJ6000 镜组安装配件 1.1. 线性测量 1.1.1. 线性测量构建 要进行线性测量， 需使用随附的两个外加螺丝将其中的一个线性反射镜安装在分光镜上， 组装成“线性干涉镜”。 线性干涉镜放置在激光头和线性反射镜之间的光路上， 用它的反射光线形成激光光束的参考光路， 另一束光入射到线性反射镜， 通过线性反射镜的线性位移来实现线性测量。如下图所示。 图 5-线性测量构建图 图 6-水平轴线性测量样图 图 7-垂直轴线性测量样图 1.1.2.