2021因而半导体应变片的电阻相对变化为.pptVIP

第三节 压阻式传感器 ? 半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作 原理是基于半导体材料的 压阻效应 。 ? 所谓 压阻效应 ，是指半导体材料在某一轴向受 外力作用时，其电阻率 ρ 发生变化的现象。 ? 半导体应变片受轴向力作用时，其电阻相对变 化为式： ? R ? ? R ? ( 1 ? 2 ? ? ? E ) ? ? ( 1 ? 2 ? ) ? ? ? (1 ? 2 ? ) 大上百倍， ? 实验证明，半导体材料的 ? E 比 (1 ? 2 ? ) 所以 可以忽略，因而半导体应变片的电 阻相对变化为： ? R ? ? E ? R ? 半导体应变片的突出优点是灵敏度高，比金属 丝式应变片高 50~80 倍，尺寸小，横向效应小， 动态响应好。但它有温度系数大，应变时非线 性比较严重等缺点。 ? 利用硅的压阻效应和微电子技术制成的压阻式 传感器，具有灵敏度高、动态响应好、精度高、 易于微型化和集成化等特点 ? 半导体材料中，压阻效应性能最好的是半导体 单晶硅 应用与计算 2-1 应用与计算 2-2 应用与计算 2-3 习题与 思考 题 1. 什么是压阻效应？什么是横向效应？ 2. 试说明金属应变片与半导体应变片的相同和不同之处。