电子散斑干涉技术的原理与使用课件.pptVIP

电子散斑干涉技术的使用 2016/11/30 1 目录 ? 特点及基本概念 ? 测量光路及方法 ? 图像采集方法 ? 图像处理 2016/11/30 电子散斑干涉技术 刘浏 160637 2 方法特点 ? 测量精度高，实时监测，实时处理；（ 390 ～ 780 纳米） ? 全场检验； ? 非接触性； ? 结果易于保存 ； 2016/11/30 电子散斑干涉技术 刘浏 160637 3 电子散斑干涉技术 一种高精度、非接触式、全场实时的光学干涉测量技术。 干涉与散斑 相同的频率（相干光） 相同的振动方向 固定相位差 2 2 1 2 1 2 2 cos I A A A A ? ? ? ? 2 I A ? A 振幅 I 光强 δ 相位差 干涉三要素 散斑定义 ： 当一组 相干光 照射到粗糙等物体表面引起 漫反射 ，而表面各部位反射所发出的次波在物体表面的前方 发生干涉，从而形成大量的明暗相间的光斑。 基本依据 随机分布 ，但是对于固定光源且同一物体表面来说，其分布规律也是一定的，即， 散斑空间特性只决定于 光源的特性和被照射物体表面 。所以，在光源固定的前提下，散斑的特性与物体表面存在着固定的关系。 通过对物体发生形变（位移）前后分