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薄膜生长的理论模型与 Monte Carlo 模拟 华中科技大学电子系 0208 班 H1 小组 计算材料学课程设计报告 2005 年 5 月 分组情况 ? 找资料论文 : 邹譞 , 魏文祥，吴杰 ? 资料翻译 : 陈义琦 , 李莉 ? 建模 : 吴杰 , 陈义琦 , 李莉 , 崔铮 , 林泽浩，黄萌 . ? 编程 : 邹譞，黄萌 , 项梁 , 崔铮 , 朱英山 . ? 会议 , 日志文字记录整理 : 李莉，朱英山 . ? 论文撰写 , 演示文档制作 : 朱英山，陈义琦 . 课题项目 薄膜生长的理论模型及其蒙特卡罗模拟 ? 薄膜广泛的应用前景－－光电技术、生物技术、能源技术 特别是电子材料和集成电路技术上的要求 ? 研究现状 1 。实验技术－－超低温下扫描隧道显微镜观察 2 。计算机模拟－－通过对不同的模型的模拟以及不同参数 的设置来了解不同工艺条件下的成膜过程以及各参数变化 对成膜的影响。提高了试验效率，减小了试验成本和开发 新材料的费用。 理论模型 ? 理论模型 碰撞 －－源物质粒子 离开源向靶沉积，气 相原子沉积到表面并 被表面吸附变成吸附 原子 迁移 －－落到靶上的 粒子在衬底上移动 , 寻 找较稳定的结合点。 理论模型 成核 －－ 源物质粒子互相结合 , 形成晶核 蒸发 －－ 热运动导致成核的粒子重返靶外空间 成膜 －－ 晶粒长大到互相连接成片 ? 二维 ? 三维 Monte Carlo 方法模拟成膜过程的 可行性分析 ? 动力学方法 弊端：需要在巨型计算机上追踪计算数以万计的粒子在各瞬时受的力、 运动速度和轨迹。显然 , 这样做难度是很大的。 ? Monte Carlo 方法 成膜过程是大量微观粒子在给定宏观条件约束下的集体 行为 ，但是就每一粒子的运动而言其运动实际也是每一 步都是随机的 ? 连续空间 (continuum space,CS) ? 离散晶格 (Discrete Lattice, ＤＬ ) －－ 便于编程实现 编程实现－－二维 ? 二维薄膜生长模拟中采用 1000 × 1000 的方形格子 作为衬底，随机向衬底入射 N 个粒子每个粒子可 运动 W 步 。 ? N －－决定于所需要成膜的厚度与面积 ? W －－决定于入射粒子的能量，电场，磁场或者激光方法 来控制 编程实现－－二维 ? 判断最近邻，次近邻 ? 简化 1 －－ 衬底原子不动 ? 简化 2 －－ 单位时间只跟踪一个粒子 ? 简化 3 －－ 格点处是衬底点阵能量极小值 编程实现－－二维 次近邻 优先级低 最近邻 优先级高 次近邻 优先级低 最近邻 优先级高 核 最近邻 优先级高 次近邻 优先级低 最近邻 优先级高 次近邻 优先级低 编程实现－－三维 ? 70 × 70 × 500 立方体 格子 ? 最近邻－－五个格点 ? 次近邻－－八个格点 ? 其余算法都是从二维 推广到三维 开始 成核位置被占据？ 设定初始值 初始化矩阵 缩放坐标并移动坐标 在衬底随机生成一个核 随机生成运动粒子 Yes No 运动粒子的最近邻是否被占据 ? 运动粒子的次近邻是否被占据 ? No 在次近邻成核 Yes 在最近邻成核 Yes 判断是否到运动步数？ No No 由于能量减少到 0 ，粒子在衬底上单独成核 Yes 运动 二维程序运行模拟结果 1 ? 10 万粒子运行 1000 步 1 万粒子运行 1000 步 二维程序运行模拟结果 2 10 万粒子运行 1 万步 1 万粒子运行 1 万步 二维程序运行模拟结果 3 ? 10 万粒子运行 10 万步 1 万粒子运行 10 万步 二维程序运行模拟结果 4 ? 10 万粒子运行 100 万步 1 万粒子运行 100 万步 二维程序运行模拟结论 ? 随着运动步数的增加，薄膜生长图形的分形生长 现象越明显，同样的粒子数，步数越多衬底上的 成核数越少，分形枝越粗。这是由于我们的模型 是设计到达运动步数后未成核的粒子耗尽能量固 定下来。 ? 增加步数，粒子在衬底上运动的几率增大，与其 他粒子相接触而成核的几率也增大 。 ? 其次，随着分形枝的增长，粒子与伸长枝的接触 几率也增大了 三维程序运行模拟结果 1 ? 1000 个粒子三维图像 三维程序运行模拟结果 2 ? 10000 个粒子三维图像 三维程序运行模拟结果 3 ? 100000 个粒子三维图像