像差检测光学测量...pdf

§5-3 象差测量 §5-3 象差测量 概述 概述 光学系统成象质量的好坏，是最后评定此光学系统优劣的主要标准。 光学系统成象质量的好坏，是最后评定此光学系统优劣的主要标准。 影响象质的因素有： 影响象质的因素有： ① 设计水平：校正象差的完善程度 ① 设计水平：校正象差的完善程度 ② 加工水平：加工误差、装配误差、材料误差 ② 加工水平：加工误差、装配误差、材料误差 ③ 杂光 ③ 杂光 几何象差与光学设计密切联系 几何象差与光学设计密切联系 误差测量与物光联系密切 误差测量与物光联系密切 §5-3-1 二次截面法 （哈特曼法）测几何象差 §5-3-1 二次截面法 （哈特曼法）测几何象差 — 1900—1904 年由德国哈特曼提出，利用几何光学概念，找出这些光线经光学系统后的空间位置。 1900 1904 年由德国哈特曼提出，利用几何光学概念，找出这些光线经光学系统后的空间位置。 一、 原理 一、 原理 用区域光阑将不同孔径的光分开 用区域光阑将不同孔径的光分开 1、 轴向象差 1、 轴向象差 ① 球差 ① 球差 区域光阑（哈特曼光阑） 区域光阑（哈特曼光阑） 1 1 1 1 f f ) 小孔直径 ( ~ ) 小孔直径 F ( ~ F 100 400 100 400 b s b b s b n n n n1 n n1 1 S 1 d ® S d ® n b d s n b b b d -s b +b - + n n n n n2 n n1 n2 2 1 2 ②位置色差 ②位置色差 2、 垂轴象差 2、 垂轴象差 ① 象散 ① 象散 轴外球差曲线 轴外球差曲线 b b b b sn sn tsn 1 tsn 1 1 S 1 d S d S d S d tn sn tn sn b b b +b b b