GB/T 1.12009
GB/T 601
GB/T 603
GB/T 6678
GB/T 6680
GB/T 6682
GB/T 8170
HG/T 2363-1992
HG/T 4804-2015
m n
Si-H
1
Si—H44%1.55%1
1
1
-2.9 -5.2 -10.2 -14.5 -21.8 -29.0
Si—H /% 2.6-3.2 4.6-5.8 9.0-11.3 13.0-16.0 19.4-24.1 26.1-31.9
30-120 30-120 30-120 30-120 30-120 30-120
25 /(mm2/s)
≤3.0
105,1.5h /%
≤10
( HCl )/ μg·g-1
GB/T 8170
GB/T 601GB/T 603
GB/T 6682
20 ml
SiH
HG/T 4804-2015 A
A.2A.3
A.3A.2SiH1
HG/T 2363-1992 25
2
HG/T 4804-2015 B
HG/T 4804-2015 C
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