材料科学工程进展：5.纳米加工.ppt

1986年，Binning等发明了原子力显微镜（Atomic Force Microscope ） 类似于STM的显微技术，它的许多元件与STM是共同的，如用于三维扫描的压电陶瓷系统以及反馈控制器等 与STM主要不同点：用一个对微弱力极其敏感的易弯曲的微悬臂针尖代替了STM中的探测微小隧道电流。正是由于AFM工作时不需要探测隧道电流，所以可以用于分辨包括绝缘体在内的各种材料表面上的单个原子 AFM微悬臂偏转的检测方法 隧道电流检测法 光学干涉测量法 光束偏转测量法 电容测量法 原子力显微镜同样具有原子级的分辨率。由于原子力显微镜既可以观察导体，也可以观察非导体，从而弥补了STM的不足 单原子操纵和纳米加工 STM的针尖不仅可以成像，还可以用于操纵表面上的原子或分子 最简单的方法是将针尖下移，使针尖顶部的原子和表面上的原子的“电子云”重叠，有的电子为共享，会产生一种与化学键相似的力。在一些场合下，这种力足以操纵表面上的原子 为了更有效地操纵表面上的原子，通常在针尖和表面之间加上一定的能量，如电场激励、电流激励、光子激励等能量方式 单原子操纵物理机制 当距离0.4nm时，单原子操纵将受助于STM针尖和样品表面间的化学相互作用 随着针尖和表面间的距离的减小，在相同偏置电压的条件下不仅使针尖和样品表面间的隧道电流大大增大（可以增大1~2数量级），同时针尖和样品表面的“电子云”部分重叠，使两者之间的相互作用也大大增强 当距离0.6nm时，STM针尖和样品表面之间的化学相互作用在单原子操纵过程中不起主导作用，这样，原子的操纵则取决于针尖和样品表面之间的纯电场或电流效应 单原子操纵的三个部分 单原子的移动（displacement） 单原子的提取（extraction） 单原子的放置（deposition） 这些技术是今后应用单原子操纵在表面上进行原子尺度的结构甚至器件加工所必须 单原子的移动 单原子的提取 单原子的放置 铅笔法：所放置的原子直接来源于STM针尖的材料 蘸水笔法：先用针尖从样品上的某处提取一些原子，再将这些吸附在针尖上的原子一个个地放置到所需的特定的位置上 钢笔法：寻找一种方法将某种所需的原子源源不断地供给到STM针尖上，再源源不断地放置到样品表面上 纳米加工技术 纳米尺度结构的加工是纳米电子学的基础，也是纳米技术的一个最重要的主要组成部分 纳米细线（nanowire）:在今后的纳米电子学应用中，最重要的纳米结构主要包括纳米尺度的金属或半导体细线（用于器件间的连接）和氧化细线（用于构成器件中电子流动的势垒和器件间的隔离或绝缘） 纳米细线的加工是未来的纳米电子器件加工以及它们的集成所必须得关键技术 在现代超大规模集成电路芯片的光刻生产加工中，目前广泛应用于实际生产、精度最高的是深紫外光光刻技术。它加工的最小线宽为130nm，其理论极限是100nm 最小线宽决定了集成电路中晶体管尺寸的大小。因此，发展100nm以下的刻蚀技术是未来更大规模集成电路加工的基础 AFM与STM在纳米技术加工方面都具有很强的应用背景。AFM不受材料种类的限制，在各种材料的加工中得到了更广泛的应用 AFM所具有的原子分辨的能力使它在尺寸小于100nm的结构加工中具有十分明显的优越性 阳极氧化法纳米结构的加工 阳极氧化是通过针尖与样品之间发生的化学反应来形成纳米尺度氧化结构的一种加工方法 阳极氧化的加工方法使用于SPM显微加工技术（包括STM和AFM） * * 原子力显微镜（AFM） AFM的工作原理 AFM的工作原理 AFM的图象是通过在样品表面上扫描时测量微悬臂受力弯曲后偏转的程度得到的。采用不同的微悬臂的检测方式就构成了不同的AFM工作原理 隧道电流检测法 通过测量微悬臂与STM针尖之间隧道电流的变化来检测微悬臂的偏转。优点是灵敏度高，缺点是信噪比低，不适合工作在大气条件 图10-9 光学干涉测量法 利用光学干涉的方法来探测微悬臂共振频率的位移（或偏振光的相移）及微悬臂偏转的幅度 图10-10 光束偏转测量法 在微悬臂上的顶部设置一枚微小的镜子，通过检测小镜子上反射光束的偏转就可以得到微悬臂偏转的信息 图10-11 电容测量法 微悬臂构成平行平板电容器的一块平板之一，而另一块平板则平行地位于微悬臂的上方。微悬臂的偏转值将通过测量该电容器的电容值的变化得到 原子力显微镜的特点 STM单原子操纵原理图 世界上最小的广告 用STM移动吸附在Ni（110)表面上的Xe原子而排列成“IBM” Fe原子的圆形量子栅栏 用扫描隧道显微镜的针尖在铜表面上搬运和操纵48个原子，使它们排成圆形。圆形上