测试与传感技术：第三章 常用传感器.ppt

第三章 常用传感器与敏感元件 3.11.1 磁敏传感器 霍尔式传感器  1. 霍尔效应 金属或半导体薄片置于磁场中，当有电流流过时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势，这种物理现象称为霍尔效应（洛伦磁力）。 霍尔电势可用下式表示: 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 2. 霍尔元件 基于霍尔效应工作的半导体器件称为霍尔元件，霍尔元件多采用N型半导体材料。霍尔元件越薄，霍尔常数就越大，薄膜霍尔元件厚度只有0.2mm左右。 常用的霍尔元件材料有锗(Ge)、硅(Si)、锑化铟(InSb)、砷化铟(InAs)等半导体材料。 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成，如图所示。霍尔片是一块半导体单晶薄片(一般为6×5.2×2mm3)，在它的长度方向两端面上焊有a、b两根引线，称为控制电流端引线，通常用红色导线，其焊接处称为控制电极；在它的另两侧端面的中间以点的形式对称地焊有c、d两根霍尔输出引线，通常用绿色导线，其焊接处称为霍尔电极。霍尔元件的壳体是用非导磁金属、陶瓷或环氧树脂封装。 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 3. 霍尔元件的应用实例 图a：VH—θ； 图b：VH—x； 图c：VH—x； 图d：VH—x； 图e：VH—n； 图f：VH—x； 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 图3-64 钢丝绳断丝检测 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 4. 霍尔传感器的特点 霍尔传感器也是一种磁电式传感器。它是利用霍尔元件，基于霍尔效应原理，将被测量转换成电动势输出的一种传感器。由于霍尔元件在静止状态下，具有感受磁场的独特能力，并且具有结构简单、体积小、噪声小、频率范围宽（从直流到微波）、动态范围大（输出电势变化范围可达1000:1）灵敏度高（可达20000mV/mA*T）、寿命长等特点，因此获得了广泛应用。 例如，在测量技术中用于将位移、力、加速度等量转换为电量的传感器；在计算技术中用于作加、减、乘、除、开方、乘方以及微积分等运算的运算器等。 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 3.11.2 热敏电阻传感器 　　??? 半导体热敏电阻的材料是一种由锰、镍、铜、钻、铁等金属氧化物按一定比例混合烧结而成的半导体。一般称为半导体热敏电阻，或简称热敏电阻。它具有负的电阻温度系数，随温度上升而阻值下降。根据半导体理论，在一定的温度范围内，热敏电阻在温度T时的电阻为： 式中，R0为温度T0时的电阻值，一般T0取为25oC； R为温度T时的电阻； β为材料的特性系数，一般温度范围在2000—4500K内，取β≈3400。  由式可知，测出热敏电阻的阻值后，就可以确定被测物体的温度。 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 半导体热敏电阻与金属热电阻比较，有如下优点: (1)电阻温度系数大；灵敏度高，可测量微小的温度变化值；例如，可以测出0.001—0.0050C的温度变化。 (2)体积小，热惯性小，响应快。例如，直径可小到0.5mm，响应时间可短到毫秒级。 (3)元件本身的电阻值可达3—700kΩ，当远距离测量时，导线电阻的影响可不考虑。 (4)在-500—3500C时的温度范围内，具有较好的稳定性。 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 3.11.3 半导体气敏传感器 气敏传感器是一种将被检测的气体成份或浓度转换为电信号的传感器。比如化工生产中气体成份的检测与控制；煤矿瓦斯浓度的检测与报警；环境污染情况的监测；煤气泄漏；火灾报警；燃烧情况的检测与控制等等。 3.11 半导体传感器 第三章 常用传感器与敏感元件 工作原理：电阻式气敏半导体元件表面吸附气体分子时，其电导率随气体浓度发生变化； 气敏半导体材料有：氧化锡（SnO2）、氧化锰（MnO2）； 电阻式气敏半导体传感器，适合于检测低浓度可燃气体或某些有毒气体，比如：一氧化碳、乙醇、甲烷、异丁烷和氢。 3.11 半导体传感器 优点：灵敏度高、响应快、制造使用保养方便、价格便宜； 缺点：气体选择性差、元件性能参数分散、时间稳定度欠佳。 第三章 常用传感器与敏感元件 3.11.4 湿敏传感器 湿敏半导体材料多为金属氧化物，如四氧化三铁（Fe3O4）等。 3.11 半导体传感器 1.金属陶瓷湿敏传感器工作原理：当水分子吸附在金属陶瓷材料的表面时，