光刻测量技术与感应式测量技术.docVIP

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  • 2021-03-20 发布于江苏
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光刻测量技术与感应式测量技术 导语:?光栅尺作为位置测量仪器被广泛地应用在机床、传送设备、工业自动化和测量检测设备领域。今天小编要为各位普及一下测量的知识。海德汉光栅尺的光学扫描的测量基准都是周期刻线-光栅。这些光栅在玻璃或钢材基体上。不得不说海德汉的光栅技术已经发挥到了极致 光栅尺作为位置测量仪器被广泛地应用在机床、传送设备、工业自动化和测量检测设备领域。今天小编要为各位普及一下测量的知识。海德汉光栅尺的光学扫描的测量基准都是周期刻线-光栅。这些光栅在玻璃或钢材基体上。不得不说海德汉的光栅技术已经发挥到了极致。让我们一起来数一数: 01AURODUR:在镀金钢带上蚀刻线条,典型栅距40μm 02METALLUR:抗污染的镀金层金属线,典型栅距20μm 03DIADUR:玻璃基体的超硬铬线(典型栅距20μm)或玻璃基体的三维铬线格栅(典型栅距8μm) 04OPTODUR相位光栅:光学三维平面格栅线条,超高反光性能,典型栅距不超过2μm 这种方法除了能刻制栅距非常小的光栅外,而且刻制的光栅线条边缘清晰、均匀。这些边缘清晰且极端均匀的刻线是输出高质量信号的关键。再加上海德汉独有的光电扫描技术以及绝对测量法,可以说这种精密测量“绝”了。 绝对测量法是指编码器通电时就立即提供位置值并随时供后续信号

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