化合物及特色工艺半导体加工设备研发及产业化项目环评报告书.pdfVIP

项目概述 1.项目背景 1.1 项目背景及建设内容 近年来，化合物半导体作为第三代半导体的代表逐渐成为市场主要发展方向，中国在化合物 半导体领域已有突破性的进展，但刻蚀等关键性工艺、设备仍然为发展瓶颈。 为推动我国在化合物半导体领域装备制造的发展，打破国际厂商的垄断，创立电子专用装备 领域的国产品牌，站在世界的前列，上海谙邦半导体设备有限公司应运而生。 上海谙邦半导体设备有限公司（以下简称“谙邦半导体” ）是一家集研究、开发、设计、生产、 制造、销售于一身的制造高端设备的企业，致力于化合物半导体、封装测试、平板显示屏、集成 电路半导体等生产过程中需要的关键设备——刻蚀设备的研发和生产，为以上各领域厂商提供更 先进、价格更合理的高端制造设备。 2020 年8 月18 日，谙邦半导体作为金桥临港智荟园首批重点项目，签约落户临港，租赁金 桥临港综合先行区洲德路1588 号金桥临港智荟园一期B2 厂房开展“化合物及特色工艺半导体加 工设备研发及产业化项目（以下简称“本项目” ）” 。 2020 年9 月15 日，本项目获得临港新片区管委会高新产业和科技创新处准入意见书，编号 2020 （9-02 ）号，允许项目入驻园区。 本项目拟建设2 部分内容：1 是人工组装化合物及特色工艺半导体用到的刻蚀设备，物理检 测后出厂；2 是利用自厂组装的刻蚀设备开展刻蚀工艺的研发，获得刻蚀参数的最优解。 项目建成后，年产化合物及特色工艺半导体加工设备20 台/年；工艺研发实验使用硅片1250 片/年。年工作时间 260 天，白班制工作，每天8h。 1.2 项目特点 工程特点：本项目化合物及特色工艺半导体加工设备以组装及物理调试为主，厂内对设备 进行设计，零部件均外包加工或采购，制成的设备为一体化高端设备，连续密闭；刻蚀工艺的研 发试验属于小试规模，用于获取更优的刻蚀工艺参数，研发使用自厂的设备； 环境特点：项目所在地位于上海市金桥临港综合先行区，属104 地块，最近的环境保护目 标为西北侧1200m 处的东场居委。 1.3 环评文件的判定及编制依据 本项目主要从事化合物及特色工艺半导体设备的生产以及刻蚀工艺的研发实验，根据《国民 经济行业分类》（GB/T4754-2017 ），本项目行业类别为“C3599 其他专用设备制造”“M7320 工程 1 和技术研究和实验发展” 。按照《中华人民共和国环境影响评价法》和《建设项目环境保护管理 条例》的要求，应进行环境影响评价工作。 对照《建设项目环境影响评价分类管理名录》（2021 版），本项目设备制造属于“三十二、 专用设备制造业”“70 355 电子和电工机械专用设备制造” 中的“仅组装的” ，其环境影响评价工作豁 免；工艺研发试验属于“ 四十五、研发和实验发展”“98 专业实验室、研发（试验）基地” 中的“其 他（不产生实验废气、废水、危险废物的除外）”应编制环境影响报告表。根据《建设项目环境 影响评价分类管理名录》（2021 版）第四条的规定：“建设内容涉及本名录中两个及以上项目类 别的建设项目，其环境影响评价类别按照其中单项等级最高的确定。” 。因此，本项目环评文件 类型为环境影响报告表。 根据《本市环境影响评价制度改革实施意见》（沪府规〔2019 〕24 号）的有关规定，本市建 设项目实施分类管理，区分重点项目和一般项目，实行差别化的环境影响评价审批管理。对照《上 海市生态保护红线》，本项目不在本市生态红线范围内；对照《上海市建设项目环境影响评价分 类管理重点行业名录（2019 年版）》，本项目不属于重点行业，也不涉及其他中的工艺，因此 不属于重点项目。 根据《关于支持中国（上海）自由贸易试验区临港新片区高质量发展环境管理的若干意见》 （沪环规〔2020 〕3 号）的有关规定：“ （三）优化环评管理，4.扩大告知承诺的实施范围。对未 纳入《临港新片区建设项目环境影响评价分类管理重点行业名录》的建设项目，原要求编制环境 影响报告表的建设项目，实施告知承诺管理，建设单位只要作出相应承诺的，可当即取得环评批 复” 。对照《临港新片区建设项目环境影响评价分类管理重点行业名录》，本项目不属于其中的 重点行业，不涉及其中列举的重点工艺，不位于本市生态红线范围内，因此本项目不属于重点行 业项目。可以实施告知承诺管理制