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六英寸内圆切割机的电气设计 导语：?本文提出了六英寸内圆切割机的简要发展趋势。并通过我公司设计逻辑控制实现该机中步进电机进给定位、液压比例阀控制油缸切割速度、线性编码器控制切割行程等,通过触摸屏进行参数设置和参数显示。并进行简要的计算,结果表明该设备设计的可实施性。填补国内大直径切割机的空白 摘要：本文提出了六英寸内圆切割机的简要发展趋势。并通过我公司设计逻辑控制实现该机中步进电机进给定位、液压比例阀控制油缸切割速度、线性编码器控制切割行程等,通过触摸屏进行参数设置和参数显示。并进行简要的计算,结果表明该设备设计的可实施性。填补国内大直径切割机的空白。 关键词：六英寸内圆切割机，逻辑控制，比例流量阀，线性编码器 1.引言 在国内引进的六英寸内圆切割机中主要有瑞士的MB公司和日本东京精密株式会社(TOKYO)两公 司的内圆切割机机型。MB公司以卧式机型为主，TOKYO公司以立式机型为主。在切片机主轴支撑方式上，MB 公司以空气轴承为发展方向，TOKYO公司以滚动轴承和空气轴承两种形式发展。在国内内圆切割机研制中仅有信息产业部电子第四十五研究所。其内圆切片机机型在国内硅片切割行业应用的范围涵盖了从phi;50mm到phi;200mm硅片的切片加工。我公司生产的六英寸内圆切割机，仿制国外机型，采用立式机型，并采用空气轴承。加上我们的改进。生产出国内自主研创的大直径内圆切割机。 2.六英寸内圆切割机步进电机的进给控制 我公司生产的六英寸内圆切割机中央处理器选用三菱FX2n-64MT-001晶体管输出型系列PLC。控制 步进电机带动滚珠丝杠的进给。步进电机采用北京斯达特公司生产的两相混合式步进电机34HS300D，配有步进电机驱动器SH-2H090M控制。六英寸内圆切割机的切割工艺中要求，片厚的要求很高，平行度、一致度要求很高，这就要求走片厚时精确度很高，采用两相混合式步进电机，其成本低，运行平稳。采用细分数，消除电机的低频震荡。提高了电机的输出转矩，同时提高了电机的分辨率。其步进脉冲，步进方向分别由PLC的专用脉冲数出口Y0,Y1控制，输出到步进电机驱动器的CP和DIR口。接口控制线路如下图： 其步进距离计算过程如下：如设置切割片厚为D516（PLC数字单元）单位为mm，两相步进电机的步距角为0.9deg;/1.8deg;设定细分数为10，其细分后步距角为1.8deg;divide;10=0.18deg;则步进电机旋转一圈所需要的脉冲数为360deg;divide;0.18deg;=2000脉冲，进给采用步进电机带滚珠丝杠传动。步进电机转一圈，滚珠丝杠对应转一圈，滚珠丝杠螺距为4mm，那么1mm对应的步进电机脉冲数为2000divide;4=500，片厚D516为两位带小数值，所以D516对应用步进电机的脉冲数为D516*K5。 其步进速度计算过程如下：设置速度为D520（PLC数字单元）单位为mm/min，D520divide;K60换算为单位mm/s。步进电机1mm对应的脉冲数为500，对应D520速度下一秒钟步进电机所需的脉冲数为D522*K500。那么脉冲周期T=1/d522*K500。则脉冲频率F=1/T=D522*K500。 3.六英寸内圆切割机切割行程的控制 我公司生产的六英寸内圆切割机切割过程分为几个部分，一是空切的行程，二是入口段的行程，三是切割中间段的行程，四是切割出口段的行程。因为切割过程中，每一段切割过程中，晶体的切割面积不同，所以晶体切割过程中受力大小是实时变化的。所以根据切割工艺每个切割行程所用的速度是不定的。通过线性编码器的检测监控，来确定每一段的行程所需要的速度。将直线编码器的两相分别接入PLC的X00，X01口，通过专用高速计数器C235（x0口配置的专用高速计数器编号）进行计数。我公司选用的编码器的脉冲精度为0.02mm/脉冲。通过设定的切割行程除以脉冲精度，即为高速计数器所需计数的值。当计数值到达后，进行下一个切割过程同时复位计数器C235即可。下一个行程重新起动高速计数器C235。从此控制每一段行程，为整个切割过程的使用不同速度提供信号。 4.六英寸内圆切割机切割速度的控制 我公司生产的六英寸内圆切割机切割速度，是由两位比例流量阀配以比例放大器，控制切割的速度。同时线性编码器检测速度，实现闭环控制。实时调节流量阀的流量大小。以达到与设定相同的速度。具体的配线图如下图 通过PLC模拟量模块FX2n-4DA，将0~plusmn;10V差动电压信号，从16a和16c两端输入，即可控制电磁铁A或B。比例放大器为直流24V供电。正电压控制电磁铁B，负电压控制电磁铁A。在这里特别注意的是：0~plusmn;10V差