基于gmr效应的新型生物传感器研究.docVIP

基于GMR效应的新型生物传感器研究 导语：?基于GMR效应的自旋阀生物磁传感器由于自身灵敏度高、线性程度好、易于集成等特点。 1 引 言 基于GMR效应的自旋阀生物磁传感器由于自身灵敏度高、线性程度好、易于集成等特点，与早期的电化学分析、压电晶体检测方法相比具有检测精度高的明显优点，与当前较成熟的荧光检测生物系统相比又不必依赖于庞大、精密的光学系统，因而其研究和应用前景被国内外众多研究单位和学者所关注和看好。1998年美国Naval Research Labo-ratory研制出了第一代BARC（bead array counter）芯片，到今天已经发展到能够实现DNA检测及纳米磁球检测。2 生物传感器制备及测试 由于被检测信号较小仅为μV量级，在设计上采用惠斯登交流电桥作为检出结构，并且搭建了完备的检测系统，如图1所示。系统由GMR检测电桥、驱动部分和检测部分组成。惠斯登电桥由相同的GMR自旋阀敏感电阻Rsen，Rref和外部可调参考电阻R1，R2组成，其中电桥的上半桥臂，即磁敏感电阻Rsen，Rref，采用三步光刻法集成在芯片上，其自旋阀结构为Ta／NiFe／CoFe／Cu／CoFe／MnIr／Ta，磁阻变化率MR可达9.2％，性能见图2。 在测试过程中，由信号发生器