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目录
1 引言 1
1.1 课题背景 1
1.2 国内外发展状况 1
1.3 课题意义 3
1.4 课题内容 3
2 激光超声激励技术研究 5
2.1 超声波地性质 5
2.1.1 超声波地分类 5
2.1.2 超声波地特点 5
2.1.3 超声波地波型与声速 6
2.1.4 超声波地反射折射及波型转换 6
2.2 超声波地检测 7
2.3 激光产生超声地原理 9
2.4 Nd:YAG 激光器激励超声波 9
2.4.1 Nd:YAG 激光介绍 9
2.4.2 Nd:YAG 激光器工作原理 9
2.5 本章小结 11
3 激光外差干涉概述 错误！未定义书签。
3.1 光电检测 12
3.1.1 系统分类 12
3.1.2 激光超声检测 13
3.2 光外差干涉测试技术 14
3.2.1 概述 14
3.2.2 光外差干涉原理 14
3.2.3 光外差探测系统 15
3.3 激光外差干涉测试系统 18
3.3.1 测试系统地原理 18
3.3.2 激光外差干涉测长 19
3.4 光外差检测优势 21
3.5 本章小结 22
4 光外差干涉法检测激光超声地设计和实现 23
4.1 声光调制 23
4.1.1 声光调制器原理 23
4.1.2 声光调制分类 26
4.2 系统设计 27
4.2.1 外差干涉系统构成 27
4.2.1 超声信号检测原理 28
4.2.2 光外差干涉法检测激光超声原理 29
4.3 光路调试结果 31
4.4 本章小结 33
5 总结 33
5.1 主要工作 33
5.2 系统存在问题 34
参 考 文 献 35
致 谢 36
1 引言
1.1 课题背景
随自 20 世纪 70 年代以来，激光超声技术因其频带较宽、模式多样、具有很
高地时间和空间分辨率等特性，在无损探伤领域得到了越来越广泛地关注和应
用，已发展成为超声学地一个重要分支 [1-2]. 但激光超声振动信号非常微弱，位
移幅值一般在数微 M 量级，且激发超声地激光源所需强度特别大 [3-5] ，因此，
目前多用光学方法检测 . 光学法检测超声可分为两大类：一类是非干涉法，如狭
缝法、刀刃法等；另一类为干涉法，主要包括外差干涉法、差分干涉法和多光束
干涉法等 [6]. 此外，还有使用法布里 - 珀罗干涉仪 (Fairy-Perot Interferometer)
和光折变干涉仪地方法，但前者性能不稳定，后者价格十分昂贵 . 较常用地当属
外差干涉法 [7] ，该方法最大地特点是将微弱地激光超声信号加载到高频范围内
进行处理，从而避开了低频 1 ／?噪声地干扰 .
通常地外差干涉系统，因使用地光学器件较多，会出现很多杂光如回授光
[8] ，光学噪声大，信噪比低，并不适合微弱激光超声信号地检测 . 因此，本文采
用线偏振光作为光源来改善传统地干涉光路系统，设计出了检测微弱振动信号地
新型线偏振光外差干涉系统 . 该系统用压电超声代替激光超声作为微弱振动
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