曝光工艺流程示意图 .pptx

曝光光阻涂布（涂布机）镀ITO导电膜(镀膜机）来料烘烤检查显影（显影机）剥膜（脱膜机）蚀刻（蚀刻机）玻璃盖板 Cover LensPRITO 氧化铟锡PRITO 氧化铟锡2020/11/29镀膜镀ITO导电膜(镀膜机）玻璃盖板 Cover LensITO 氧化铟锡真空镀膜机8486302200 制造平板显示器用物理气相沉积装置在来料玻璃盖板表面镀一层 ITO 导电膜 (氧化铟锡) 用于导电， 如图中黄色示意部分2020/11/292020/11/29精品资料你怎么称呼老师？如果老师最后没有总结一节课的重点的难点，你是否会认为老师的教学方法需要改进？你所经历的课堂，是讲座式还是讨论式？教师的教鞭“不怕太阳晒，也不怕那风雨狂，只怕先生骂我笨，没有学问无颜见爹娘 ……”“太阳当空照，花儿对我笑，小鸟说早早早……”2020/11/29光阻涂布（涂布机）涂布镀完ITO导电膜产品PRITO 氧化铟锡涂布机在镀过 ITO (氧化铟锡) 的玻璃表面均匀涂布一层感光光阻材料 (PR, 如图中蓝色示意部分)， 然后再进行烘烤2020/11/29感光光阻涂布后产品曝光UV灯PR掩膜版曝光产品曝光机8486303900 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置(制造平板显示器用的机器或装置)将掩膜版上的电路图图案，投影到涂布在 ITO 玻璃表面的感光光阻 (PR)上2020/11/29曝光UV灯UV灯掩膜版固定位置掩膜版曝光产品固定位置曝光产品被照射部分UV 光透过掩膜版，照射到曝光产品的感光光阻表面，掩膜版上透明的部分，UV光可以透过并照射到感光光阻上，使光阻产生反应。掩膜版上黑色不透明的部分， UV 光无法透过，故此部分的光阻不产生反应。 从而使掩膜版上的电路图图案，投影到涂布在 ITO 玻璃表面的感光光阻 (PR)上。2020/11/29显影显影（显影机）曝光后产品PR显影机被曝光部分未被曝光部分8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置将显影液喷淋到曝光后的产品表面， 显影液会将被UV光照射发生反应的感光光阻溶解掉，从产品表面去除，留下未被UV光照射的部分，保留在产品表面2020/11/29蚀刻显影后产品蚀刻（蚀刻机）PR蚀刻机未被曝光部分8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置将蚀刻液喷淋到显影后的产品表面， 蚀刻液会将未被感光光阻 PR 覆盖部分的 ITO 蚀刻掉， 留下被感光光阻 PR 覆盖保护的部分，保留在产品表面2020/11/29剥膜蚀刻后产品剥膜（脱膜机）ITO 氧化铟锡脱膜机8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置将脱膜液喷淋到蚀刻后的产品表面， 脱膜液会将未被UV光照射的感光光阻PR溶解掉， 留下被保护的 ITO 部分， 从而形成线路2020/11/29* * * * * * * * * * * *