多晶硅生产工艺.docVIP

. . . .. . c. .. .. . 多晶硅生产工艺 多晶硅生产工艺 ( 1．概述 硅是地球上含量最丰富的元素之～ ，约占地壳质量的25．8％ ，仅次于氧元素，居第二位。硅在地球上不存在单质状态，基本上以氧化态存在于硅酸盐或二氧化硅中，其表现形态为各种各样的岩石，如花岗岩、石英岩等。 硅是一种半导体元素，元素符号为Si，位于元素周期表的第三周期第四主族，原子序数为14，原子量为28.0855。硅材料的原子密度为5.OOx1022／cm。，熔点为141 5℃，沸点为2355 ℃ 它在常温(300K)下是具有灰色金属光泽的固体，属脆性材料。 硅材料有多种形态，按晶体结构，可分为单晶硅、多晶硅和非晶硅。 单晶硅材料，是指硅原子在三维空间有规律周期性的不问断排列，形成一个完整的晶体材料，材料性质体现各向异性，即在不同的晶体方向各种性质都存在差异。 多晶硅材料，是指由两个以上尺寸不同的单晶硅组成的硅材料，它的材料性质体现的是各向同性。 非晶硅材料，是指硅原子在短距离有序排列、而在长距离无序排列的硅材料，其材料的性质显示各向同性。 通常硅晶体的晶体结构是金刚石型，有