真空镀膜相关知识资料.pdfVIP

1. 真空镀膜机真空抽不上去 : 抽空时间相同 ，而 真空度偏低 ，这时候 关闭主阀 ，如真空计指针很快下 降，多数情况是 真空室漏 ，应先查出漏点。如 真空计 指针下降很慢 ，多数情况是真空机组 抽气能力不够 ， 重点查找 真空泵及阀门 看哪里出现 泄漏 ，或是 扩散泵 油污染 或氧化 ；或前级管路密封不好 ，泵油不足 ；或 泵油乳化 ，轴封漏油 等。漏 -- 分 内漏和外漏 ，较大的 漏点 可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理， 先抽上真空 ，比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步 查寻，会发现 火苗向漏点偏移 ，则可找到漏点。查找 小漏 和微漏 ：利用在高真空状态下电离管对某些气体 反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向 可疑的地方 喷射丙酮或乙醇 ，喷到漏点 时，电离计的 指针会有明显摆动 。用这种方法检漏一定要有耐心， 一定要等到 电离计的示值稳定 了-- 也就是真空机组的 抽气能力和漏率平衡了，然后