行业标准《六氯乙硅烷组分含量的测定气相色谱法》.docVIP

PAGE 5 行业标准《六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法》 编制说明（送审稿） 工作简况 立项目的及意义 六氯乙硅烷，英文名称：Hexachlorodisilane，简写HCDS，是一种性能稳定、挥发性低的湿度敏感型液体，在《重点新材料首批次应用示范指导目录》（2018版）（四）62中明确提及。HCDS在多种高级薄膜淀积（半导体存储和逻辑芯片制造技术）工艺中发挥着至关重要的作用，即在低温工况下可替代硅烷或二氯甲硅烷应用于高品质氧化硅和氮化硅薄膜的积淀工艺中。 六氯乙硅烷按纯度可以分为：高纯度级别和普通纯度级别。高纯度级别六氯乙硅烷的纯度99%，作为化学气相淀积（CVD）、原子层沉积（ALD）的前体用于半导体领域，亦可作为前体用于太阳能领域，在光纤、航空航天领域也有应用。普通纯度级六氯乙硅烷的纯度在95%-98%，主要用作工业生产或者提纯。 目前，六氯乙硅烷的生产市场主要集中在日本、韩国、美国、德国等国家。国内市场主要依赖进口，随着国内生产能力的提升，以及电子级六氯乙硅烷的使用越来越多，国内市场前景广阔。洛阳中硅高科技有限公司为了顺应市场需求，从2015年开始研发硅基电子材料，是多晶硅行业内首家从多晶硅系统的回收料中提取副产物六氯乙硅烷，进行精馏提纯，得到高纯度六氯乙硅烷，目前公司已经具备年产10吨的产品线，生产出质量稳定的高纯度HCDS，填补了国内空白，替代了部分进口HCDS，产品质量得到客户的认可。在产品研发的同时，开发建立了HCDS组分含量的测定方法，为保证产品品质提供了强有力的保障。 本标准的制定统一了行业内对六氯乙硅烷组分的测定方法，为六氯乙硅烷的质量提供保障。 任务来源 根据2019年5月31号《工业和信息化部办公厅关于印发2019年第一批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》（工信厅科函[2019]126号）的文件精神，《六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法》由洛阳中硅高科技有限公司负责制定，由全国有色金属标准化技术委员会归口，全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会负责组织编制，计划编号2019-0399T-YS，要求2021年完成。 编制单位简况 3.1、编制组成员单位 本项目由洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司等单位共同提出并起草，其中洛阳中硅高科技有限公司是六氯乙硅烷的生产单位，编制组成员单位均具备《六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法》的产品检测和研发能力。 3.2、主编单位简介 洛阳中硅高科技有限公司是世界500强中国五矿下属的国有高新技术企业，成立于2003年3月，注册资本10亿元，拥有完全自主知识产权的改良西门子法多晶硅生产技术，是中冶集团新能源领域的重点企业、河南省工业重点企业、洛阳市龙头企业。公司自成立以来，先后承担实施了国家863计划课题3项、国家科技支撑计划课题5项、电子信息产业发展基金项目3项、国家高技术产业化项目3项、国家产业振兴和技术改造项目1项，以及省市科技攻关和技术改造170余项，拥有专利100余项，制修订了20余项国家和行业标准。 中硅高科拥有一个生产基地和一个产业孵化基地，拥有行业唯一的多晶硅制备技术国家工程实验室、河南省超高纯硅材料工程研究中心等研发平台，设立了博士后科研工作站，也是我省唯一符合工信部光伏制造行业规范条件的企业。国家工程实验室已通过国家CMA认证和CNAS认可，现有研发用各类仪器设备近300台套，资产总计1.17亿元，形成了持续研发能力。 信息技术与传统产业的结合，是我国当前经济转型的重要途径之一，面对新时代的需求，中硅高科从传统光伏领域转向电子信息和光纤通信等高附加值领域发展。目前公司除年产18000吨的太阳能级多晶硅生产线外，主要开拓的新产品有电子级多晶硅、高纯四氯化硅、硅基电子特气电子级三氯氢硅、六氯乙硅烷等产品。公司拥有多种规格的不锈钢储罐和罐式集装箱，按照半导体行业要求设计的全自动收集系统，可与高纯罐车和产品储罐直接对接，实现自动充装，可满足客户小试、中试以及大规模使用的要求，并且拥有逐渐扩大的客户群体。 主要工作过程 标准起草单位和参与单位在接到行业标准制定计划任务后，在全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会的组织下，洛阳中硅高科技有限公司成立了标准编制组。确定了编制组成员的任务分工和计划。标准编制组开展了查询相关国内外资料、标准的整理和研讨工作，标准编制组充分调研了本公司和同行业其他单位的六氯乙硅烷的检测方法，同时组织相关技术人员进行了六氯乙硅烷组分分析的试验工作，结合实际情况和具体的试验结果，对拟制定标准所涉及的内容、范围、适用性、可操作性、科学性等内容进行了认真研讨、论证和改进，通过试验，初步确立了方法标准的内容。最终形成了《六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法