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MOCVD 设备应用概况介绍及市场情况分析 一、 MOCVD 设备与应用 德国 AIXTRON 公司 （德国艾思强公司 ）和美国 VEECO 公司 （美国维易科精密仪器有限公司 ）两家公司几乎生产了全 球 90% 以上的主流 MOCVD 设备。 1、生产效率和成本概况 国际上 MOCVD 技术已经相当成熟，主流设备从 2003 年 6-8 片机、 2004 年 12 片机、 2005 年 15 片机、 2006 年 的 21-24 片机，目前已经达到 42、45、49 片机 （一次可装载 49 片 2 英寸的衬底生长外延 ）。 外延炉容量的不断扩大让 LED 外延片生产商的单位生 产成本快速大幅下降。目前，量产企业对单批产能的最低要 求是在 30 片以上。 国产设备目前为 6 片机，生产效率和生产成本差距甚远。 2、价格及产值概况 生产型MOCVD设备的售价高达 1000?2000万元。根 据机型， 6片机 70 万美元左右， 9片机 1 00万美元左右，加 上相关配套设备设施，一条产线 LED 生产线需要投入 4000 多万元。 若新采购设备为 45 片机生产蓝光芯片，按 3 炉 /天计 算，年产 4 .9 万片左右，收入 4800 万元，投入产出基本为 1:1。 3、生产过程工艺复杂，参数众多，优良率与均匀性是 关键 外延片生长过程工艺复杂，参数众多，培养专业操作人 员需时间较