微小摩擦力测量仪的测力系统设计.doc

PAGE 1 - 编号 本科生毕业设计 微小摩擦力测量仪的测力系统设计 The Force-measuring System Design of Micro-frictionTesting Instrument 学 生 姓 名 专 业 机械设计制造及其自动化 学 号 指 导 教 师 学 院 机电工程分院 2009年 X月 PAGE PAGE I 摘 要 摩擦现象与人类的生产和生活密切相关，随着微电子技术的飞速发展而兴起的微机电系统(Micro Electron Mechanical System, MEMS)，其零部件的几何尺寸目前一般在微米数量级，它们之间的摩擦介于微观与宏观摩擦之间，称之为微小摩擦。而MEMS的发展，迫切需要明确微小摩擦的机理，因此微小摩擦的研究具有重要的现实意义。 本文提出了一种全新的微小摩擦测试仪器，将激光三角位移测量仪与双平行板弹簧片测力臂相配合，实现对微小摩擦力的测试，结合有限元分析软件Ansys对测力臂进行分析，同时具有精度高，性能可靠等优点。本文有三部分内容： 微小摩擦力测试仪的总体结构设计。 微小摩擦力测试仪的测力臂设计。 对微小摩擦力测试仪的性能及测试数据进行分析。 关健词:微小摩擦力测试仪 测力臂 有限元分析 激光三角法 ABSTRACT The phenomena of friction have close relations with peoples live and production. With the development of micro electronics technology, Micro Electro Mechanical System (MEMS) has been developed rapidly, whose apparatus geometry dimension at micron level, the friction of them is between microcosmic and macroscopical. That is called micro-friction. Researching of MEMS is based on understanding the principle of micro-friction. So, that is the significance for investigate micro-friction. This paper presents a new micro-friction testing apparatus, which is built by laser triangle displacement instrument and double parallel measurement arms. The system can measure micro-force for micro-friction with analyzing by finite element analysis software Ansys it has advantages of high accurately and high reliability and so on. There are three chapters in the thesis: Micro-friction testings apparatus total structure design; Arm structure of Micro-friction testing system design; Analyzing performance and data of the Micro-friction testings apparatus. Keywords: micro-friction testings apparatus measuring arm of force Finite element analysis Laser triangulation 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u 第一章 绪论 - 1 - 1.1引言 - 1 - 1.2国内外研究的现状 - 2 - 1.3本文研究的内容 - 3 - 第二章 微小摩擦实验仪的总体设计 - 4 - 2.1微小摩擦技术的简介 - 4 - 2.2微小摩擦实验仪的总体设计 - 4 - 2.3测力系统原理及其模型 - 7 - 第三章 微小摩擦测力臂的设计 - 8 - 3.1微小摩擦力测力臂的结构及制作 -