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一种新型磁敏集成角度传感器及其测量系统 3 赖宗声1,蔡 彦1,郑学军1,贺德洪1,郑筱莉2 (1.华东师范大学 电子系,上海200062; 2.乌鲁木齐成人教育学院,新疆乌鲁 木齐830046摘 要：研制了一种无触点的十字形两维集成垂直霍尔器件 ，它对平 行于芯片表面的磁场敏感。当与被测 转角B的物件轴向相连的径向永久磁铁转动 时，传感器给出了相对于被测角度的两种信号电压 ，通过接口电路和PC机组成的 非接触式测量系统把信号转换为转角 £测试结果表明该角度传感器及其测量系统 的测量精度在0 ~360°范围内可达 ±° 关键词：两维霍尔器件；集成磁传感器；角度测量系统 中图分类号：TP212. 9 文献标识码:A 文章编号：1000-9787(2001 01-0028- A new m agn eto - sen sor its LA I Z ong -11 De -hong 1, ZHEN G Xiao -li 2 (T , ast China N ormal U niversit y , Sha nghai 200062, China ; 2. of Wulumuqi Adult Education , Wulumuqi 830046, Chi na Abstract :Anew con tactless two -dime nsional in tegrated Hall an gular sen sor is presented. A radial permanent magnet is attached to the axis whose angle position be determ in ed. Two orthog onal vertical Hall devices in cross shape measure the magn etic field X , Y compornents paralled to the chip surface and therefore the angular position 0 could be0 of the axis. When the permanent magnet rotates , the measured output voltages V x , V y by the two pairs of vertical Hall plates cha nge corresp ondin gly. The an gle 0 could be obta ined by calculati ng the arc tangent of the sig nal ratio V x /V y through the in terface circuit and PC processor. The experime ntal results show the whole an gular meareme nt system has the angular measurement accuracy ofl °ver a fu±360 operating range. K ey w ords :twodimensional Hall device ; integrated magnetic sensor ; angle measurement system 0 前言 角度及角位移传感器是应用于仪表测量、 工业自动化、信号检测、航空航 海等领域的一种重要传感 器。就半导体磁敏角度传感器的研究现状而言 ，从工作 原理来分主要有三类：一维型：即当被测物发生移动、转动时，永久磁铁的磁场在 磁敏器件表面上的垂直分量Bz发生变化。于是磁敏器件输出的电信 号相应地变 化，从而得到被测物的角位移量。这类磁敏角度传感器的主要代表有两种：一是电 阻型（主要是InSb -NiSb半导体磁阻元件 磁传感器。这 类角度传感器灵敏度较高 但温度性能较差，而且与 标准的集成电路工艺不兼容，难以实现传感器的集 成 化、功能化；二是霍尔板型角度传感器,如国产的HJ C231W等。但这一类角度 传感器主要缺点是不能实现0 ~360。范围的角度测量，体积大、功耗大；二维型： 即对平行于芯片表面的磁场两个分量 B x , By敏感，其主要代表有集成磁罗盘 ［1］（包含两个垂 直霍尔板单元、二维磁敏晶体管角度传感器［2］（包含二维的集成 横向P -N -P磁敏晶体管单元结构 等；三维型：测量空间任意一点磁场的三维磁矢 分量,其主要代表有32D磁敏晶体管结构、32D垂直 收稿日期:2000-08-25 3基金项目：国家“九五”科技攻关项目（96-748-02-02与平行霍尔板组合结构 ［3］、32D微机械霍尔磁场敏 感器结