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先进半导体设备制造技术及趋势 张云 王志越 中国电子科技集团公司第四十五研究所 摘要：本文首先介绍了国内外半导体设备市场，认为市场虽有起伏，但前景良 好。从晶圆处理和封装的典型设备入手介绍了当前最先进半导体设备技术，之后总 结出半导体设备技术发展的四大趋势 o 1 国内外半导体设备市场 根据SEMI的研究，2 0 0 6年全球半导体设备市场为3 8 8. 1亿美元， 较2 0 0 5年增长18%，主要原因是各地区投资皆有一定程度的成长，少则2 0%（日本），多则2 2 9 %（中国大陆），整体设备订单成长率则较2 0 0 5年 成长5 1%，比2 0 0 5年底预测值多出2 8.4亿美元。 S