原创力文档- 1、本文档共6页，其中可免费阅读2页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
绪论本课程的学习内容与目标学习内容半导体材料的性能检测学时晶向及缺陷检测电阻率迁移丰杂质浓度少子寿命等半导体器件制作工艺奏数的检测学时结掺杂分布关做尺寸薄膜厚度等典型半导体器件的性能检测学时二极管三极管场效应晶体管茅学习目标掌握半导体材料和器件的常用测试方法与测试原理理解半导体测试技术的作用及应用熟悉常用半导体测试设备的基本组成和结构理解同一参数不同测试方法的差异能根据测试样品与测试要求设计测试方案控制测童误差教材与参考书籍教材半导体测试技术自编教材参考书孙以材编著半导体测试技术冶金工业出版社著
0 绪论
本课程的学习内容与目标
?学习内容
（1） 半导体材料的性能检测 （14学时）
（晶向及缺陷检测、电阻率、迁移丰、杂质浓度、少子寿命等）
（2） 半导体器件制作工艺奏数的检测（12学时）
（pn结掺杂分布、关做尺寸、薄膜厚度等）
（3） 典型半导体器件的性能检测（6学时）
（二极管、三极管、MOS场效应晶体管茅）
?学习目标:
＞掌握半导体材料和器件的常用测试方法与测试原理
＞ 理解半导体测试技术的作用及应用
＞熟悉常用半导体测试设备的基本组成和结构
”理解同一参数不同测试方法的差异
＞ 能根据测试样品与测试要求，设计测试方案，控制 —测童误差.
教材与参考书籍
教材：《半导体测试技
文档评论（0）