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2021-04-05 发布于上海
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ticer埋阻材料测试结果汇总.pptx

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目录;;实验目的测量Ticer埋阻材料方阻率稳定性。测试项目方阻大小为0.5、1、5cm，测量埋阻材料在经过SES一遍/两遍后的阻值以及长/宽、经过棕化后的阻值以及长/宽、经过层压后阻值、经过热冲击后阻值。测试图形;测试设备电阻值：日置HIOKI 3541电阻计尺寸：三维测量仪;实验结果;Ticer resistance material Evaluation – Result（Update with 28 samples）;;编号;实验结果;;实验目的测试Ticer埋阻材料抗ESD性能测试图形;Panel 1 2 电阻长宽测量值;Panel 1 vs. 2 电阻实际尺寸与设计值差异;Panel 1 vs. 2 方阻率差异;LCSM电阻尺寸测量;;实验结果;各道工序后电阻的该变量及每道工序中电阻的该变量;;实验背景;测试图形设计;;测量结果;;测量结果;;测量结果;;Unit内电阻差异;电阻经ESD冲击后改变情况;电阻经ESD冲击后改变情况;;SES后电阻值制程能力;SES后方阻率制程能力;电测试所得电阻值制程能力;电测试所得电阻值单个unit内电阻差异制程能力;电测试所得电阻值panel内分布——Panel 1;电测试所得电阻值panel内分布——Panel 2;;测试结果;与Ohmega材料比较;;实验目的测量Ticer埋阻材料方阻率稳定性。测试项目方阻大小为0.5、1、5cm，测量埋阻材料在经过SES一遍/两遍后的阻值以及长/宽、经过棕化后的阻值以及长/宽、经过层压后阻值、经过热冲击后阻值。测试图形;;实验结果;;Unit内电阻差异;电测试所得电阻值panel内分布——Panel 1;测试结果