实验四五结构静力分析与ansys模态分析.pdfVIP

注： 3 月 20 号，周二课程内容主要是完成下面 实验四 特别注意 ：本周六没课， 本五周 23 号 ，8:00--12:00 有课 实验四 MEMS 薄膜压力传感器静力学分析 一、实验目的 1、掌握静力学分析 2、验证理论分析结果 3、对不同形状膜的分析结果进行对比 二、实验器材 能够安装 ANSYS软件，内存在 512MHz以上，硬盘有 5G空间的计算机 三、实验说明 （一）基本思路 1、建模与网格化 2、静力学分析 3、对结果进行分析和比较 （二）问题描述： 由于许多压力传感器的工作原理是将受压力作用而变形的薄膜硅片中的应变转换成所需形式的电输 出信号，所以我们要研究比较一下用什么样形状的膜来作为压力传感器的受力面比较好。我们比较的膜形 状有三种，分别是圆形 . 正方形 . 长方形。在比较的过程中，三种形状膜的面积 .，厚度和承受的压力是都 是相等的。设置参数具体为： F=0.1MPa, EX=1.9e11,PRXY=0.3,DENS=2.33e3. 单元尺寸为 5e-006 。 为了选 1 / 31 择合适的网格化类型，首先我们拿圆的结构进行一下比较，最后选择比较接近理论计算的网格化类型，通 过比较，我们知道映射网格化类型比较优越，所以后面的两种类型膜结构选择了映射网格化。 四、实验内容和步骤 圆形薄膜 1 1. 先建立一个圆形薄膜： Main MenuPreprocessormodelingCreatevolumessolid cylinder. 弹出以个对话 框如图，输入数据如图 4-1 ，单击 OK. 图 4-1 2. 设置单元类型： Main MenuPreprocessorelement typeadd/edit/delete, 弹出一个对话框，点击 add,显示 library of element type 对话框如图： 在 library of element type 下拉列表框中选择 structural solide 项，在其右 侧下拉表框中选择 brick 8node 45 选项，单击 OK. 在点击 close.如图 4-2. 2 / 31 图 4-2 3.设置材料属性： Main MenuPreprocessormaterial props material models,弹出一个对话框，在 material models avaiable 下面的对话框中双击打开 structurallinearelasticisotropic ，又弹出 linear isotropic properties for material Number 1 对话框，在 EX 后面输入 1.9E11，在 PRXY 后面输入栏中输入 0.3，在双击 density, 在 DENS 后面输入 2.33e3,单击 OK 。然后单击 materialexit, 完成材料属性的设置。如图 4-3. 图 4-3 4.设置单元尺寸： Main MenuPreprocessormeshingmeshtool,弹出一个对话框，单击 Global 中的 SET 按钮，弹出 Global element sizes 对话框，输入 size=5e-006,然后单击 OK 。如图 4-4.