图表 1 半导体硅片分类情况 (单位 :毫米 ,微米 ,平方厘米 , 克 ,英寸 )
图表来源:本研究中心整理
由于缺乏统一定义,硅片尺寸的过渡时间无法达成共识,其中有一种观点认为累积硅
片的出货量超过 100 万片时, 表示该硅片尺寸应进入下一阶段。 实际上如英特尔等总是领先
其他业者,率先采用更大尺寸的硅片。
现将 SEMI 于 2006 年的说法,全球硅片尺寸的过渡时间表列于如下: 4 英寸硅片于 1986
年; 6 英寸于 1992 年; 8 英寸于 1997 年及 12 英寸于 2005 年。而如果依英特尔的芯片生产线建设(见 intel ’ s all fab list ),它的 3 英寸生产线建于 1972 年 FAB2 ; 4 英寸生产线建于 1973 年 FAB4 ; 6 英寸生产线建于 1978 年 FAB5;8 英寸生产线建于 1992 年 FAB15 ;第一
12 英寸生产线建于 2002 年 FAB12 in Hillsboro ,与 IBM 同步。
业界较为公认的说法是,
1980 年代是 4 英寸硅片占主流,
1990 年代是 6 英寸占主流,
2000 年代是 8 英寸占主流,到
2002 年时英特尔与 IBM 率先建 12 英寸生产线,到
2005 年
12 英寸硅片已占总硅片的
20%,到 2008 年占 30%,而那时 8
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