49―2反应堆单晶硅辐照数据管理系统的设计与实现.docxVIP

49— 2反应堆单晶硅辐照数据管理系统的设计与实现 3.中国原子能科学研究院北京 3. 中国原子能科学研究院 北京 102413） 摘 要：对单晶硅的中子嬗变掺杂，是将原始单晶硅放 入反应堆孔道中进行辐照，从而实现硅材料的磷掺杂，再经 过必要的处理，获得性能优良的 N型（NTD）硅。使用该方 法辐照后的 N 型硅具有掺杂均匀性好、精度高的优点。中 辐照掺杂方法，使原始单晶硅的利用率达到 100% ，满足了 市场需求，大大提高了经济效益。近年来，随着市场需求的 增长，单晶硅辐照的任务量与日递增，客户的要求也进 提高。现有的辐照管理模式中存在的一些弊端，在新形式下 逐渐显露出来，这就对单晶硅辐照