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MOCVD 设备应用概况介绍及市场情况分析 、 MOCVD 设备与应用 德国 AIXTRON 公司 （德国艾思强公司 ）和美国 VEECO 公司 （美国维易科精密仪器有限公司 ）两家公司几乎生产了全 球 90% 以上的主流 MOCVD 设备。 1、生产效率和成本概况 国际上 MOCVD 技术已经相当成熟，主流设备从 2003 年 6-8 片机、 2004 年 12 片机、 2005 年 15 片机、 2006 年 的 21-24 片机，目前已经达到 42、45、49 片机 （一次可装载 49 片 2 英寸的衬底生长外延 ）。 外延炉容量的不断扩大让 LED 外延片生产商的单位生 产成本快速大幅下降。目前，量产企业对单批产能的最低要 求是在 30 片以上。 国产设备目前为 6 片机，生产效率和生产成本差距甚远。 2、价格及产值概况 生产型MOCVD设备的售价高达 1000?2000万元。根 据机型， 6片机 70万美元左右， 9片机 1 00万美元左右，加 相关配套设备设施，一条产线 LED 生产线需要投入 4000 多万元。 若新采购设备为 45 片机生产蓝光芯片，按 3 炉 /天计 算，年产 4 .9 万片左右，收入 4800 万元，投入产出基本为 1:1。3 1:1。 3、生产过程工艺复杂，参数众多，优良率与均匀性是 关键 外延片生长过程工艺复杂，参数众多，培养专业操作人 员需时间较长。 个最简单的 GaN 蓝光 LED 单量子阱结构，其生长工 艺包括：高温烘烤、缓冲层、重结晶、 n-GaN 、阱层、叠层 及 p-GaN 及 p-GaN 等，工艺步骤达几 步， 每一步需调整的工艺参数 共有 20 多个，各参数之间存在比较微妙的关系，工艺编辑 人员需根据工艺要求，对各个参数进行逐一调整，必要时还 要进行计算，如升温速度、升压速度、生长速率控制、载气 与气源配比等。如何根据工艺需要自动对参数进行检查，减 轻工艺人员的工作量，是值得研究的新兴课题。 每个外延芯片、生产批次与系统之间的关系， 好的均匀性以及优良率，尤其在芯片厂商扩产时，还能维持 好的均匀性以及优良率，尤其在芯片厂商扩产时， 还能维持 相同的优良率与均匀性就显的特别关键。 4、4 英寸 MOCVD 设备将成为主流 现阶段台湾外延厂商在技术上已经具备生产4 现阶段台湾外延厂商在技术上已经具备生产 4 英寸和 6 英寸的能力，但是出于成本的考虑，多数台湾厂家还是以 英寸的 MOVCD 设备为生产主线 ;大部分欧美与韩国厂商则 早已使用 4 英寸 MOVCD 设备。 市场预期一旦 4 英寸外延片材料成本大幅崩落 （目前 4 英寸外延片的成本价格约为 2 寸外延片的四倍 ），2 英寸的 MOCVD 设备将逐渐被 4 英寸所取代。 AIXTRON 与 SemiLEDs 在 2009 年 5 月就合作开发出 6 寸蓝光 LED 芯片，在 6x6 寸 AIX 2800G4 HT MOCVD 反应 炉的结构上， 产量增加约 30%（相较于传统 42x2-inch 的架构 ）， 不但均匀性较好，也减少了边缘效应 （edge effect） 。不过就现 阶段而言，大多数的困难仍然在于 6 寸的基板价格偏高与外 延片切割技术的挑战。MOCVD 延片切割技术的挑战。 MOCVD 设备市场情况 1、设备供应商概况 目前国际上主要的MOCVD 设备供应商有两家：① 德国 目前国际上主要的 MOCVD 设备供应商有两家： ① 德国 AIXTRON 公司 （德国艾思强公司 ） 根据 Gartner Dataquest 最近的一份分析报告， 2008 年 AIXTRON 公司 MOCVD 复合半导体设备的全球占有率达到 72%。 目前， AIXTRON 公司最先进的独特的行星转盘技术应 AIXTRON用在大型 G4 2800HT 42*2 ”以及 Thomas Swan(1999 年被 AIXTRON 收购) CCS Crius 30*2 ” MOCVD 系统，使得 AIXTRON 的 MOCVD 设备被公认为世界上技术和商业价值 最完美的结合。 ② 美国 VEECO 公司 美国维易科精密仪器有限公司占 20%以上， 其中主打机 型 45 片机 K465 已经销售超过 100 台，至今 K 系列 MOCVD 产品全球销售超过 200 台。80%的世界顶尖 LED 企业已经采 用 K465 型号的 MOCVD ，截止到目前， VEECO 于中国地区 大有斩获，累计 MOCVD 出货已达 85 台。 VEECO 的 MOCVD 主要有以下优势： 首先，它是量产型机器，能有效提高量产的时间，减少 清洗和维护的时间和次数。因为开仓清洗过程需要从高达 1000 摄氏度的温度冷却后清洗，然后再将温