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第四章 电容式传感器;实例：指纹识别传感器;指纹识别所需电容传感器包含一个大约有数万个金属导体的阵列，其外面是一层绝缘的表面。当用户的手指放在上面时，金属导体阵列/绝缘物/皮肤就构成了相应的小电容器阵列。它们的电容值随着脊（近的）和沟（远的）与金属导体之间的距离不同而变化。;指纹识别目前最常用的是电容式传感器，也被称为第二代指纹识别系统。 下图为指纹经过处 理后的成像图：;４.1 电容式传感器的工作原理和结构 ４.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 ４.3 电容式传感器的特点及设计要点 4 .4 电容式传感器的测量电路 4 .4 电容式传感器的应用 ; ４.1 电容式传感器的工作原理和结构 ; 当被测参数变化使得式中的S、d或ε发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。因此, 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。  一、 变极距型电容传感器 当传感器的εr和S为常数, 初始极距为d0时, 可知其初始电容量C0为 ; 若电容器极板间距离由初始值d0缩小Δd, 电容量增大ΔC, 则有 ; 另外, 在d0较小时, 对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大, 从而使传感器灵敏度提高。但d0过小, 容易引起电容器击穿或短路。为此, 极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质, 此时电容C变为 ; 云母片的相对介电常数是空气的7倍, 其击穿电压不小于1000 kV/mm, 而空气的仅为3kV/mm。 因此有了云母片, 极板间起始距离可大大减小。同时, 上式中的(dg/ε0εg)项是恒定值, 它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。  一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20-100pF之间, 极板间距离在25-200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广。 ;二、 变面积型电容式传感器;对于平面线位移型电容式传感器，当宽度为b的动板沿箭头x方向移动时，覆盖面积变化，电容量也随之变化 电容量为：C =(ε0εbx)/ δ 其灵敏度为 ：;图示为圆柱线位移型电容??传感器，当覆盖长度x变化时，电容量也随之变化，其电容为：;图为典型的角位移型电容式传感器，当动板有一转角时，与定板之间相互覆盖的面积就发生变化，因而导致电容量变化。;当覆盖面积对应的中心角为a、极板半径为r时，覆盖面积为 s=ar2/2，电容量为 ： 其灵敏度为：; 三、 变介质型电容式传感器 1.图示为一种变极板间介质的电容式传感器用于测量液位高低的结构原理图。 ;式中：ε——空气介电常数;  C0——由变换器的基本尺寸决定的初始电容值, C0=  由式可见, 此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。 ; 2.变介质型电容传感器有较多的结构型式, 可以用来测量纸张, 绝缘薄膜等的厚度, 也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度。图示为一种常用的测量长度或位移的结构。 图中两平行电极固定不动, 极距为d0, 相对介电常数为εr2的电介质以不同厚度插入电容器中, 从而改变两种介质的厚度。传感器总电容量C为 ; 可见, 电容的变化与电介质εr2的移动量L呈线性关系。 ;3. 图示为一种常用的测量厚度结构。;电容传感器类型总结;板状线位移变面积型;线性;线性;变介质型电容传感器;电容式液位传感器;例题;作业;４.2 电容式传感器的灵敏度及非线性;可见, 输出电容的相对变化量ΔC/C与输入位移Δd之间呈非线性关系。当 Δd/d0 ＜＜1 时，可略去高次项, 得到近似的线性： ;如果考虑线性项与二次项, 则 ; 在实际应用中, 为了提高灵敏度, 减小非线性误差, 大都采用差动式结构。在差动式平板电容器中, 当动极板位移Δd时, 电容器C1的间隙d1变为d0-Δd, 电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则 ; 电容值总的变化量为 ΔC= C1-C2=C0 ; 如果只考虑式中的线性项和三次项, 则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 ;4.3 电容式传感器的测量电路;高频、低频激励电压作用下电容传感器的等效电路; 虽然可将频率作为测量系统的输出量, 用以判断被测非电量的大小, 但此时