捷佳伟创晶体硅电池高温扩散炉的培训资料.pptxVIP

捷佳伟创晶体硅电池高温扩散炉的培训资料 ;目录;设备介绍;设备用途 ;产品特点;主要技术指标;技术特点;技术特点——5段自动适时恒温区;技术特点——5段自动适时恒温区;技术特点——工艺舟软着陆;技术特点——数字化控制，消除了模拟变量传输的干扰;技术特点——自动装卸舟（机械手）;设备结构;DS-300A型管式高温扩散炉;控制部分;控制部分;推舟净化部分;推舟净化部分;炉体加热部分;炉体加热部分;炉体加热部分;炉门;炉体加热部分; 五块温控表，相对应五个温度点。温控表主要用于温度的整定，PB值的设置等。如果实际温度偏离设置值温度幅度很大，在排除其他加热正常的情况下，一般重新进行恒温即可。;RKC HA900温控表主要参数设置方法;二：按住∠mode键3秒以上：ATU=ON。CH1， CH2分别进行自整定。先在本地控制的模式下进行CH2的自总定，完毕后在远程模式下进行CH1的自总定。PID参数自总定完成。 A-M手动/自动切换 r-L 本地/远程控制选择 r-5:RUN/STOP切换 三．一边按set键一边按＞mode键： 1、Pb：2.pb修正 Add1：:通讯地址设置 Lck:密码设置 bps1：19.2、b1T1：801、1nT1：30 PV数字滤波器：1dF=5 2dF=5 四．同时按set键和＞mode键3秒以上（工程技术模式设置），必须在Stop状态下才能修改： F１0：spch=0。dE=6 （ 通道2的操作输出值MV） dEuT=100条形分辨率) F11：Fn1=3 （输入1与输入2自动/手动的切换） Fn2=1（远程/本地切换键操作） Fn3=1切换R/S F２1：1np=3（热电偶种类 S型）UnIT=0(温度单位℃) ;PGdP=1（小数点以下1位） PGSL=0 （输入刻度下限值0）PGSH=1500（输入刻度上限值1500） F22一样设置 F30：LoGC=5（输出逻辑） OUT4 ：对应EV3 （5、6端子继电器输出） ALC1=01111 RLC2=00011 F43：ES3=5 （EV3的最大报警值，外热电偶断偶超温报警） EVA3=1　事件分配（输入１事件报警，内热电偶断偶超温报警ＯＵＴ１） F50：pd:0(热启动) CAM：2(输入2的用途) 级联控制 CAr=1(级联比率)CAb=000(通道CH2附加偏置) F51：1：OS：1逆动作（加热控制） F60：通讯协议：Cmps1:0(RKC通讯协议)：cmps2：0 ;注意事项;气源部分;气源部分;气源进气图;炉体尾部气路;恒温槽及源瓶;三氯氧磷的使用和注意事项;外围部分;抽风;工装夹具;工艺控制;工艺参数;温度;时间;工艺编辑和修改;扩散氮;扩散氮;扩散氮;大氮及氧气;人员操作;插片;进舟;人员操作;设备的保养;结束;推舟净化部分;炉体加热部分; 五块温控表，相对应五个温度点。温控表主要用于温度的整定，PB值的设置等。如果实际温度偏离设置值温度幅度很大，在排除其他加热正常的情况下，一般重新进行恒温即可。;PGdP=1（小数点以下1位） PGSL=0 （输入刻度下限值0）PGSH=1500（输入刻度上限值1500） F22一样设置 F30：LoGC=5（输出逻辑） OUT4 ：对应EV3 （5、6端子继电器输出） ALC1=01111 RLC2=00011 F43：ES3=5 （EV3的最大报警值，外热电偶断偶超温报警） EVA3=1　事件分配（输入１事件报警，内热电偶断偶超温报警ＯＵＴ１） F50：pd:0(热启动) CAM：2(输入2的用途) 级联控制 CAr=1(级联比率)CAb=000(通道CH2附加偏置) F51：1：OS：1逆动作（加热控制） F60：通讯协议：Cmps1:0(RKC通讯协议)：cmps2：0 ;注意事项;炉体尾部气路;恒温槽及源瓶;扩散氮