大宗气体及特殊气体-.pdfVIP

GAS 系 统 基 础 知 识 概述 HOOK-UP 专业认知 一、 厂务系统 HOOK UP 定义 HOOK UP 乃是藉由 连接 以传输 UTILITIES 使机台达到预期的 功能。 HOOK UP 是将厂务提供的 UTILITIES ( 如 水 , 电,气 ,化学品 等 ),经由预留之 UTILITIES 连接点 ( PORT OR STICK), 藉由管路及电 缆线连接至机台及其附属设备 ( SUBUNITS) 。 机台使用这些 UTILITIES, 达成其所被付予的制程需求并将机台 使用后 ,所产生之可回收水或废弃物 ( 如废水 ,废气等 ),经由管路连接至 系统预留接点 ,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。 HOOK UP 项目主要包括 ∶CAD ，MOVE IN ，CORE DRILL ，SEISMIC ， VACUUM ， GAS ， CHEMICAL ， D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN. 二、 GAS HOOK-UP 专业知识的基本认识 在半导体厂，所谓气体管路的 Hook-up （配管衔接）以 Buck Gas （一 般性气体如 CDA 、GN2 、PN2 、PO2 、PHE 、PAR、H2 等）而言， 自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（ Main Piping ）至次主管线 （Sub-Main Piping ）之 Take Off 点称为一次配（ SP1 Hook-up ），自 Take Off 出口点至机台（ Tool ）或设备（ Equipment ）的入口点，谓之 二次配（ SP2 Hook-up ）。以 Specialty Gas （特殊性气体如：腐蚀性、 毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（ Gas Cabinet ）。自 G/C 出口点至 VMB （Valve Mainfold Box. 多功能阀箱） 或 VMP （Valve Mainfold Panel 多功能阀盘）之一次测（ Primary ）入 口点，称为一次配（ SP1 Hook-up ），由 VMB 或 VMP Stick 之二次侧 （Secondary ）出口点至机台入口点谓之二次配（ SP2 Hook-up ）。 GAS 简单知识基本掌握 第一章 气体概述 由于制程上的需要， 在半导体工厂使用了许多种类的气体， 一般我们皆依气 体特性来区分， 可分为一般气体 （BULK GAS ）与特殊气体 （SPECIALTY GAS ） 两大类。