上海半导体行业污染物排放标准（征求意见稿）编制说明.docxVIP

PAGE i 附件3 上海市《半导体行业污染物排放标准》 编制说明 （征求意见稿） 上海市环境科学研究院 二O二一年二月 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 一、 项目背景 1 （一） 任务来源 1 （二） 主要工作过程 1 二、 行业概况 2 （一） 行业总体发展概况 2 （二） 行业技术发展情况 4 1. 芯片设计业 4 2. 芯片制造业 5 3. 芯片封装业 6 （三） 行业发展规划与主要任务 7 三、 标准修订的必要性 8 （一） 国家与上海市相关政策和管理要求 8 （二） 半导体行业的主要环境问题 9 （三） 现行环保标准存在的问题 9 四、 标准修订的原则及技术路线 9 （一） 标准修订的原则 9 （二） 标准修订的技术路线 10 五、 国内外相关标准情况 12 （一） 国内半导体行业相关标准 12 1. 国家电子工业污染物排放标准 12 2. 北京电子工业大气污染物综合排放标准 13 3. 江苏省半导体行业标准 15 4. 天津工业企业挥发性有机物排放控制标准 17 （二） 国外和地区半导体行业相关标准 18 1. 美国半导体行业空气污染物排放标准 18 2. 美国半导体行业废水污染物排放标准 19 3. 德国半导体行业水污染物排放标准 20 4. 世界银行污染预防和削减手册的相关标准 21 5. 台湾半导体行业气污染物排放标准 22 6. 台湾晶圆制造及半导体制造业放流水标准 23 （三） 上海市综合排放标准 24 1. 上海市水污染物综合排放标准 24 2. 上海市大气污染物综合排放标准 25 六、 半导体行业污染物排放状况及污染防治技术分析 26 （一） 产污节点 27 （二） 废水排放及治理 31 1. 含氟废水 31 2. 酸碱废水 31 3. 含氨废水 33 4. 有机废水 33 5. 电镀废水 34 6. 含铜废水 34 （三） 废气排放及治理 36 1. 酸碱废气 37 2. 有机废气 38 3. 有毒气体 39 4. 含氟气体 39 5. 一般废气 40 七、 标准主要技术内容 40 （一） 标准适用范围 40 （二） 标准修订基本思路 41 1. 废水标准修订基本思路 41 2. 废气标准修订基本思路 42 3. 环境管理要求 42 （三） 术语和定义 43 （四） 执行时段划分 43 （五） 污染物控制指标的选择 43 1. 废水控制因子选择 43 2. 废气控制因子选择 44 （六） 水污染物排放限值的确定 44 1. 一类污染物 45 2. 二类污染物 48 3. 综合毒性指标 60 （七） 有组织大气污染物排放限值的确定 61 1. 酸性废气 61 2. 碱性废气 67 3. 有机废气 69 4. 有毒气体 73 5. 颗粒物 74 6. 氮氧化物 75 7. 锡及其化合物 76 （八） 无组织大气污染物排放限值的确定 77 八、 国内外相关标准对比分析 78 （一） 水污染物相关排放标准对比分析 78 （二） 大气污染物相关排放标准对比分析 80 九、 实施本标准的环境效益和经济技术分析 81 （一） 技术可达性分析 81 1. 废水处理技术可达性分析 81 2. 废气处理技术可达性分析 84 （二） 经济分析 86 1. 投资估算 86 2. 运行费估算 87 （三） 环境效益分析 88 十、 说明 88 项目背景 任务来源 为加强对上海市半导体行业的污染排放控制，上海市于2006年11月1日正式发布了上海市的《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006），于2007年2月1日正式实施。该标准适用于半导体企业水污染物、大气污染物排放的管理，是全国第一个针对挥发性有机物（VOCs）制订限值的排放标准。2016年，由上海市环境科学研究院对该标准的实施情况进行了评估。结合标准实施情况，以及十多年来上海市及国家在水和大气环境方面新的管理要求，建议对标准进行修订。2017年10月，由上海市生态环境局下达标准修订任务。 主要工作过程 上海市环境科学研究院自标准修订任务下达后，主要工作进展情况如下： （1）2017年10月，课题组正式启动标准修订研究工作，着手开展了国内外资