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微电子工艺基础;一 概述;1.为什么要学这门课?;1.为什么要学这门课?;一 概述;这门课的对象?;这门课的对象?;这门课的对象?;这门课的对象?;这门课的对象?;这门课的对象?;芯片制作流程;这门课的对象?;一 概述;本课程的主要内容;1、绪论、微电子工艺概况(2学时,p1-p15)
2、半导体材料、晶圆制备(3学时,p16-p44 )
3、污染控制、芯片制造基本工艺(3学时,p45-p89 )
4、外延工艺(3学时,p255-p259 )
5、氧化工艺(4学时,p104-p128 )
6、化学气相淀积(3学时,p241-p255和 p261-p265 )
7、金属淀积(4学时, p266-p285 )
8、光刻工艺(6学时, p129-p215 )
9、掺杂技术(4学时, p216-p240 )
10、封装技术(4学时,p334-p397 );参考文献;一 概述;第1章 绪论;第1章 绪论;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 三、作业;9、春去春又回,新桃换旧符。在那桃花盛开的地方,在这醉人芬芳的季节,愿你生活像春天一样阳光,心情像桃花一样美丽,日子像桃子一样甜蜜。5月-215月-21Sunday, May 23, 2021
10、人的志向通常和他们的能力成正比例。01:44:5501:44:5501:445/23/2021 1:44:55 AM
11、夫学须志也,才须学也,非学无以广才,非志无以成学。5月-2101:44:5501:44May-2123-May-21
12、越是无能的人,越喜欢挑剔别人的错儿。01:44:5501:44:5501:44Sunday, May 23, 2021
13、志不立,天下无可成之事。5月-215月-2101:44:5501:44:55May 23, 2021
14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about.
。23 五月 20211:44:55 上午01:
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