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09《现代物理实验——离子注入》论文
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离子注入技术的发展
及其在材料方面的应用
摘 要
离子注入是一项新兴的材料表面改性技术。它可以使材料表面的机械、物理、化学、电学等性能发生变化。有效地提高材料表面的硬度以及耐磨擦、耐磨损、抗腐蚀、抗疲劳等能力，延长材料使用寿命，增加经济收益。本文介绍了离子注入的基本原理以及技术特点，描述了离子注入在金属材料表面改性、半导体材料以及超导方面的技术应用，并展望了离子注入的应用前景。
关键词：离子注入；材 料；表面改性；半导体；超 导
一、绪 论
离子注入技术于七十年代初首
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