氮氧化铝的原子层沉积制备及其阻变性能.docx

收稿日期：2017-02-28 录用日期：2017-07-11 基金项目：福建省自然科学基金(2016J05163)；厦门大学校长基金(20720150028，20720160019) *通信作者：weihuang@xmu.edu.cn（黄巍）；lijun@xmu.edu.cn（李俊） doi:10.6043/j.issn.0438-0479.201703001 氮氧化铝的原子层沉积制备及其 阻变性能 刘 宇，余 珏，黄 巍*，李 俊*，汪建元，徐剑芳，李 成，陈松岩 （厦门大学物理科学与技术学院，福建 厦门 361005） 摘要：以等离子体增强原子层沉积技术生长氮氧化铝AlNxOy薄